[实用新型]一种多色仪用平场凹面光栅

权利要求书

1.一种多色仪用平场凹面光栅，包括平场凹面光栅本体(1)，其特征在于，所述平场凹面光栅本体(1)的类型为正弦型齿形，所述平场凹面光栅本体(1)的表面设有反射镀层，所述反射镀层采用铝制材料制成，所述平场凹面光栅本体(1)的效率最大值可以在210-250nm之间变化。

2.根据权利要求1所述的一种多色仪用平场凹面光栅，其特征在于，所述平场凹面光栅本体(1)的刻线密度为915L/mm，所述平场凹面光栅本体(1)的波长范围λ1-λ2为185-315nm，所述平场凹面光栅本体(1)的光谱长度L为12.55mm。

3.根据权利要求1所述的一种多色仪用平场凹面光栅，其特征在于，所述平场凹面光栅本体(1)的入射角α为3°。

4.根据权利要求1所述的一种多色仪用平场凹面光栅，其特征在于，所述平场凹面光栅本体(1)的近波衍射角β1为-14°，所述平场凹面光栅本体(1)的远波衍射角β2为-21°，所述平场凹面光栅本体(1)的垂线与光栅法线夹角为-16.5°。

5.根据权利要求1所述的一种多色仪用平场凹面光栅，其特征在于，所述平场凹面光栅本体(1)衍射区的直径为42mm，所述平场凹面光栅本体(1)衍射区的厚度为8mm。

6.根据权利要求1所述的一种多色仪用平场凹面光栅，其特征在于，所述平场凹面光栅本体(1)的入臂r为83mm，所述平场凹面光栅本体(1)的近波出臂r1为91mm，所述平场凹面光栅本体(1)的远波出臂r2为96mm。