[实用新型]一种多色仪用平场凹面光栅

说明书

本实用新型公开了一种多色仪用平场凹面光栅，包括平场凹面光栅本体，所述平场凹面光栅本体的类型为正弦型齿形，所述平场凹面光栅本体的表面设有反射镀层，所述反射镀层采用铝制材料制成，所述平场凹面光栅本体的效率最大值可以在210‑250nm之间变化。本实用新型自身具有校正像差功能，因此与传统的即可衍射光栅相比具有更高的分辨率，并可凑成紧凑的分光光学系统，同时采用全息曝光和离子刻蚀技术，可以达到低像差，低杂散光，衍射效率高的效果，可以提高检测器的集光效。

技术领域

本实用新型涉及多色仪技术领域，尤其涉及一种多色仪用平场凹面光栅。

背景技术

现有的多色仪一般使用罗兰圆凹面光栅来进行黑色金属及有色金属成分的快速定量分析。

由于传统的罗兰圆凹面光栅光学数值孔径较小，并且未经过像差校正，因此传统的罗兰圆凹面光栅的光收集效率和信号噪声比较差，无法满足多色仪的使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种多色仪用平场凹面光栅。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种多色仪用平场凹面光栅，包括平场凹面光栅本体，所述平场凹面光栅本体的类型为正弦型齿形，所述平场凹面光栅本体的表面设有反射镀层，所述反射镀层采用铝制材料制成，所述平场凹面光栅本体的效率最大值可以在210-250nm之间变化。

优选地，所述平场凹面光栅本体的刻线密度为915L/mm，所述平场凹面光栅本体的波长范围λ1-λ2为185-315nm，所述平场凹面光栅本体的光谱长度L为12.55mm。

优选地，所述平场凹面光栅本体的入射角α为3°。

优选地，所述平场凹面光栅本体的近波衍射角β1为-14°，所述平场凹面光栅本体的远波衍射角β2为-21°，所述平场凹面光栅本体的垂线与光栅法线夹角为-16.5°。

优选地，所述平场凹面光栅本体衍射区的直径为42mm，所述平场凹面光栅本体衍射区的厚度为8mm。

优选地，所述平场凹面光栅本体的入臂r为83mm，所述平场凹面光栅本体的近波出臂r1为91mm，所述平场凹面光栅本体的远波出臂r2为96mm。

本实用新型具有以下有益效果：

1、平面凹场光栅自身具有校正像差功能，因此与传统的即可衍射光栅相比具有更高的分辨率，并可凑成紧凑的分光光学系统；

2、平场凹面光栅采用全息曝光和离子刻蚀技术，可以达到低像差，低杂散光，衍射效率高的效果，可以提高检测器的集光效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种多色仪用平场凹面光栅的正视图图；

图2为本实用新型提出的一种多色仪用平场凹面光栅的侧视图；

图3为本实用新型提出的一种多色仪用平场凹面光栅的侧视图；

图4为本实用新型提出的一种多色仪用平场凹面光栅的衍射结构示意图。

图中：1平场凹面光栅本体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。