[实用新型]一种伺服电机双摆臂取放结构

说明书

一种伺服电机双摆臂取放结构，涉及半导体自动一体化设备领域，它包含两个摆臂机构、工作平台，其特征在于它还包含主轴旋转伺服电机；摆臂机构设置在工作平台的下方,主轴旋转伺服电机居中设置在工作平台的上方；摆臂机构由摆臂、交叉导轨工件、吸嘴、Z轴旋转伺服电机、偏心轮组成；交叉导轨工件设置在工作平台的下方，摆臂安装在交叉导轨工件上，吸嘴安装在摆臂的前端与摆臂套接，Z轴伺服电机贯穿设置在交叉导轨工件的中部，偏心轮设置在交叉导轨工件的后方。本实用新型有益效果为伺服电机双摆臂取放结构，由两条摆臂和两组上下运动Z轴机构组成，吸取芯片的同时完成固晶动作，使产能效率达到接近于翻倍的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体自动一体化设备领域，具体涉及一种伺服电机双摆臂取放结构。

背景技术

随着科技的迅速发展以及半导体材料不断的新生，信息技术产业日益飞黄，半导体自动一体化设备孕育而生，设备不仅减少了劳动成本，提高资源的利用，也极大提高了生产效率。设备在日常使用中能够给人们提供方便，但是，仍具有以下不足：传统的半导体自动一体化设备由一条摆臂和一组上下运动Z轴机构组成，吸取一颗芯片,固晶完成以后，才能取下一颗芯片，产能效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术中产能效率低的问题，提供一种伺服电机双摆臂取放结构。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：它包含两个摆臂机构1、工作平台2，其特征在于它还包含主轴旋转伺服电机3；摆臂机构1设置在工作平台2的下方,主轴旋转伺服电机3居中设置在工作平台2的上方；摆臂机构1由摆臂11、交叉导轨工件12、吸嘴13、偏心轮14、Z轴旋转伺服电机15组成；交叉导轨工件12设置在工作平台2的下方，摆臂11安装在交叉导轨工件12上，吸嘴13安装在摆臂11的前端与摆臂11套接，Z轴伺服电机31设置在交叉导轨工件12的后端,Z轴伺服电机31上安装偏心轮14。

所述摆臂机构1以主轴旋转电机3为轴线对称分布在工作平台2的下方两侧。

所述交叉导轨工件12背面端122设置有半圆弧压板125，偏心轮14压在半圆弧压板125上。

所述半圆弧压板125侧面用弹簧126拉住。固定偏心轮，使偏心轮旋转实现摆臂Z轴的上下运动。

所述半圆弧压板125的上方设有归位原点感应器124。在完成一次吸芯固晶动作后，摆臂机构回归起始位置触碰归位原点感应器，此时旋转伺服电机旋转180°。

所述交叉导轨工件12的前端面121设置有固定槽123，摆臂11与固定槽123对应连接。固定摆臂位置，使摆臂在工作过程无法移位，增强设备稳定性。

本实用新型的工作原理：工作平台上方旋转伺服电机带动下方摆臂结构旋转运动180°，使得工作平台下方摆臂机构交替完成吸取芯片和固晶的动作，即摆臂1吸嘴吸取芯片的同时，摆臂2完成固晶动作，完成一次动作摆臂机构回归起始位置触碰归位原点感应器，此时旋转伺服电机旋转180°，转变成摆臂2吸取芯片的同时，摆臂1完成固晶动作，如此交替运动，缩短时间，大大提高了产能效率。

采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：由两条摆臂和两组上下运动Z轴机构组成，在吸取芯片的同时完成固晶动作，使产能效率达到接近于翻倍的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的摆臂机构结构示意图；

图3是图2中沿A向视图；