[实用新型]一种清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921702479.8 申请日: 2019-10-11
公开(公告)号: CN210668288U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种清洗装置,其特征在于,包括:

清洗腔室;

固定装置,所述固定装置设置于所述清洗腔室内,用于承载并固定待清洗物;

第一喷嘴,所述第一喷嘴设置于所述清洗腔室内,所述第一喷嘴内部设有多条液体管路以及多条气体管路,

所述液体管路至少包括用于向待清洗物喷射第一清洗液的第一液体管路、用于向待清洗物喷射第二清洗液的第二液体管路;

所述气体管路至少包括第一气体管路以及第二气体管路,所述第一气体管路及所述第二气体管路均用于向待清洗物喷射惰性气体,所述第一气体管路、所述第一液体管路以及所述第二液体管路的喷射方向相同,所述第二气体管路的喷射方向与所述第一气体管路的喷射方向成预设夹角,所述预设夹角大于0度且小于或等于90度。

2.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述液体管路还包括用于向待清洗物喷射干燥液的第三液体管路,所述第三液体管路的喷射方向与所述第一液体管路的喷射方向相同。

3.根据权利要求2所述的清洗装置,其特征在于,所述清洗装置还包括具有多个通孔的助喷射结构,所述助喷射结构设置于所述第一喷嘴的下方,所述第一气体管路喷出的惰性气体经由所述多个通孔喷向待清洗物。

4.根据权利要求3所述的清洗装置,其特征在于,所述多个通孔包括第一孔和第二孔,所述第一气体管路喷出的惰性气体经由所述第一孔喷向待清洗物;所述第一液体管路、所述第二液体管路以及所述第三液体管路穿过所述第二孔。

5.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述第二气体管路包括围绕所述第一喷嘴的环形开口,所述惰性气体经由所述环形开口喷出。

6.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述第二气体管路包括围绕所述第一喷嘴的具有至少四个开口的喷射孔,所述惰性气体经由所述开口喷出。

7.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述清洗腔室包括进风装置及排风装置,所述进风装置用于向所述清洗腔室内喷气,所述排风装置用于将所述清洗腔室内的气流排出。

8.根据权利要求7所述的清洗装置,其特征在于,所述进风装置包括进风管道以及与所述进风管道连通的喷气结构,所述喷气结构用于将所述进风管道中的气体喷向所述清洗腔室。

9.根据权利要求8所述的清洗装置,其特征在于,还包括用于控制气体流通的第一控制阀和第二控制阀,所述进风管道包括第一进风管道以及第二进风管道,所述第一控制阀设置在所述第一进风管道与所述喷气结构之间;所述第二控制阀设置在所述第二进风管道与所述喷气结构之间。

10.根据权利要求8所述的清洗装置,其特征在于,所述喷气结构包括多个与所述清洗腔室连通的通孔。

11.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,还包括第一机械臂,所述第一机械臂与所述第一喷嘴连接,用于将所述第一喷嘴移动至所述固定装置的上方。

12.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,还包括第二喷嘴,所述第二喷嘴设置于所述清洗腔室内,所述第二喷嘴内部设有第四液体管路和第五液体管路,所述第四液体管路用于向待清洗物喷射第三清洗液,所述第五液体管路用于向待清洗物喷射第四清洗液。

13.根据权利要求12所述的清洗装置,其特征在于,还包括第二机械臂,所述第二机械臂与所述第二喷嘴连接,用于将所述第二喷嘴移动至所述固定装置的上方。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司,未经长鑫存储技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921702479.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top