[实用新型]一种石英晶片的圆边清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921707654.2 申请日: 2019-10-12
公开(公告)号: CN210816624U 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 夏良军 申请(专利权)人: 菲特晶(南京)电子有限公司
主分类号: B08B11/00 分类号: B08B11/00;B08B11/02;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 代理人: 金迪
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 晶片 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种石英晶片的圆边清洗装置,包括两个对称设置的清洁机构以及清洁缸,其特征在于,所述清洁机构包括第一气缸以及设于所述第一气缸上方的支撑台,所述第一气缸的第一活塞杆连接所述支撑台的下表面,所述支撑台的上表面设有第二气缸,所述第二气缸的第二活塞杆通过连接件连接电机的一端,所述电机的另一端设有转轴,所述电机驱动所述转轴顺指针方向进行自转,所述转轴的一端连接夹板的一端,所述夹板的另一端通过连接板连接海绵板,两个所述清洁机构的两个海绵板之间夹持有石英晶片,清洗缸设于所述石英晶片的下方,所述清洗缸可容纳所述石英晶片的转动。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片的圆边清洗装置,其特征在于,所述第二气缸、所述第二活塞杆、所述电机、所述转轴、所述夹板、所述连接板、所述海绵板和所述石英晶片在水平方向的中轴线均在同一条直线上。

3.根据权利要求2所述的一种石英晶片的圆边清洗装置,其特征在于,所述第一气缸的两端外侧壁均设有固定机构,所述固定机构包括第一横杆、第二横杆和竖杆,所述第一横杆的一端连接所述第一气缸的外侧壁,另一端连接所述竖杆的顶部侧壁,所述竖杆的底部侧壁连接所述第二横杆的一端,所述第二横杆在竖直方向设有螺纹孔,螺栓通过所述螺纹孔与工作台面进行螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种石英晶片的圆边清洗装置,其特征在于,所述清洗缸为空心长方体状,所述清洗缸的两端侧壁的顶部向侧壁的底部凹陷设有凹槽,所述凹槽可容纳所述转轴上下移动。

5.根据权利要求4所述的一种石英晶片的圆边清洗装置,其特征在于,所述清洗缸内设有清洗液,所述清洗液的液面高度小于所述凹槽的底部所处的高度。

6.根据权利要求5所述的一种石英晶片的圆边清洗装置,其特征在于,所述支撑台的外侧壁设有电源,所述第一气缸、所述第二气缸和所述电机均与所述电源电性连接。

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