[实用新型]一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置

权利要求书

1.一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，其特征在于：包括封闭的酸洗空间、与酸洗空间通过输送管道相连通的储酸罐、通过回收管道与酸洗空间相连通的回收箱以及穿过酸洗空间的传送轨道，传送轨道上设有用于放置电子元器件的载舟并且传送轨道连接有驱动载舟在传送轨道上运动的驱动装置，酸洗空间内设有喷淋头和滤网，喷淋头与输送管道相连通，滤网位于传送轨道的下方，回收箱通过回收循环管道连通至储酸罐。

2.根据权利要求1所述的碳化硅电子元器件酸洗回收装置，其特征在于：所述驱动装置包括电机、旋转圆盘、推送杆和顶头，电机的输出轴与旋转圆盘相连，推送杆的一端与旋转圆盘相连，另一端与顶头相连，顶头位于传送轨道上。

3.根据权利要求1所述的碳化硅电子元器件酸洗回收装置，其特征在于：传送轨道为两条平行设置的链条，载舟的四条腿分别架在两条链条上，两条链条之间为镂空的空间。

4.根据权利要求1所述的碳化硅电子元器件酸洗回收装置，其特征在于：输送管道上设有加压泵，加压泵与喷淋头之间的输送管道为加压管道。

5.根据权利要求1所述的碳化硅电子元器件酸洗回收装置，其特征在于：回收循环管道上设有自吸泵。