[实用新型]一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置

说明书

本实用新型公开一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，包括封闭的酸洗空间、与酸洗空间通过输送管道相连通的储酸罐、通过回收管道与酸洗空间相连通的回收箱以及穿过酸洗空间的传送轨道，传送轨道上设有用于放置电子元器件的载舟并且传送轨道连接有驱动载舟在传送轨道上运动的驱动装置，酸洗空间内设有喷淋头和滤网，喷淋头与输送管道相连通，滤网位于传送轨道的下方，回收箱通过回收循环管道连通至储酸罐。本实用新型在酸洗去除碳化硅电子元器件金属表面的氧化物薄膜的同时重复循环利用酸液。

技术领域

本实用新型涉及一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，用于碳化硅二、三极管酸洗工序，属于半导体元器件封装技术领域。

背景技术

在生产碳化硅电子元器件过程中，因要求的精密度和稳定性较高，不适合使用大型酸腐蚀设备，从而对酸腐蚀设备进行缩小改进，使设备更具有稳定性。缩小后的算腐蚀设备使用后的酸可以进行再次回收利用，减少废酸排放以免造成环境污染。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，在酸洗去除碳化硅电子元器件金属表面的氧化物薄膜的同时重复循环利用酸液。

为了解决所述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，包括封闭的酸洗空间、与酸洗空间通过输送管道相连通的储酸罐、通过回收管道与酸洗空间相连通的回收箱以及穿过酸洗空间的传送轨道，传送轨道上设有用于放置电子元器件的载舟并且传送轨道连接有驱动载舟在传送轨道上运动的驱动装置，酸洗空间内设有喷淋头和滤网，喷淋头与输送管道相连通，滤网位于传送轨道的下方，回收箱通过回收循环管道连通至储酸罐。

进一步的，所述驱动装置包括电机、旋转圆盘、推送杆和顶头，电机的输出轴与旋转圆盘相连，推送杆的一端与旋转圆盘相连，另一端与顶头相连，顶头位于传送轨道上。

进一步的，传送轨道为两条平行设置的链条，载舟的四条腿分别架在两条链条上，两条链条之间为镂空的空间。

进一步的，输送管道上设有加压泵，加压泵与喷淋头之间的输送管道为加压管道。

进一步的，回收循环管道上设有自吸泵。

本实用新型的有益效果：本实用新型能够实现碳化硅基的半导体元器件在酸腐蚀工序将使用后的酸液再次回收利用，减少废酸排酸，避免对环境造成污染。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为驱动装置的结构示意图；

图中：1、储酸罐，2、输送管道，3、加压泵，4、加压管道，5、喷淋头，6、酸洗空间，7、传送轨道，8、电机，9、推送杆，10、顶头，11、载舟，12、滤网，13、回收管道，14、回收箱，15、回收循环管道，16、自吸泵，17、旋转圆盘。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

实施例1

本实施例公开一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，尤其是碳化硅基二极管或者三极管的酸洗回收装置，如图1所示，包括储酸罐1、用于运输储酸罐1中液体的输送管道2、设置在输送管道2上的加压泵3、设置在加压泵之后的加压管道4、安装在加压管道4上用于冲洗器件的喷淋头5、用于将喷淋区封闭的酸洗空间6、以及将装有碳化硅元器件载舟11传送至封闭空间6的传送轨道7。本装置传送载舟11的动力单元是电机8，如图2所示，电机的输出轴与旋转圆盘17相连，推送杆9一端与旋转圆盘17相连，另一端与顶头10相连。滤网12用于过滤冲淋后的酸液，滤网12位于传送轨道的下方，在酸洗空间外侧下方设有回收管道13和回收箱14，回收箱14通过回收循环管道15以及附着在回收循环管道15上的自吸泵16回连至储酸罐1。