[实用新型]一种晶圆键合结构

权利要求书

1.一种晶圆键合结构，包括透明玻璃罩(2)、控制屏(7)、激光测距仪(3)、夹具(10)和工作台(20)，其特征在于：所述透明玻璃罩(2)安装在挡板(6)上表面，且两个所述透明玻璃罩(2)对称安装在所述工作台(20)上表面，把手(4)安装在所述透明玻璃罩(2)首端外表面，所述控制屏(7)安装在右侧所述挡板(6)外表面中间位置，温度检测器(5)安装在后面所述挡板(6)右上角内表面，且所述温度检测器(5)与温度调节器(1)水平，所述温度调节器(1)安装在后面所述挡板(6)左上角内表面，所述激光测距仪(3)安装在支撑柱(16)上表面右端中间位置，所述支撑柱(16)下表面内部安装有滚筒电机(13)，且所述滚筒电机(13)安装在右侧所述支撑柱(16)下端中间位置，所述滚筒电机(13)外表面安装有齿轮牙(12)，传动轴(14)安装在所述滚筒电机(13)内部，且所述传动轴(14)贯穿所述滚筒电机(13)位于所述支撑柱(16)内壁圆孔内，所述夹具(10)安装在所述支撑柱(16)左侧端面上，冷却环(11)安装在所述夹具(10)外表面，加热环(9)安装在所述冷却环(11)与隔热盘(8)之间，所述工作台(20)上表面设置有凹槽(19)，且所述凹槽(19)设置在所述工作台(20)中间位置，滑道(17)安装在所述凹槽(19)侧面表面，且所述滑道(17)镶嵌在所述凹槽(19)内表面，支撑腿(21)安装在所述工作台(20)下表面拐角位置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆键合结构，其特征在于：传轴承(15)安装在所述支撑柱(16)外表面，且两个传轴承(15)关于圆心对称安装在所述支撑柱(16)下端。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆键合结构，其特征在于：所述温度调节器(1)安装在挡板(6)内表面，且所述温度调节器(1)位于挡板(6)左上角。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆键合结构，其特征在于：所述隔热盘(8)安装在所述支撑柱(16)左侧端面上，且所述隔热盘(8)设置在所述支撑柱(16)内部。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆键合结构，其特征在于：齿轮条(18)安装在所述凹槽(19)下表面，且所述齿轮条(18)位置所述凹槽(19)下表面中间位置。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆键合结构，其特征在于：防滑垫(22)安装在所述支撑腿(21)下表面。