[实用新型]一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具

权利要求书

1.一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，包括上夹板(8)和下夹板(9)，其特征在于：所述上夹板(8)的左侧安装有支杆B(3)，所述下夹板(9)的左侧安装有支杆A(1)，且所述支杆A(1)与所述支杆B(3)通过固定销(5)固定，所述支杆A(1)的左侧设置有把手A(2)，所述支杆B(3)的左侧设置有把手B(4)，所述固定销(5)的右侧设置有固定栓(6)，且所述固定栓(6)安装在所述支杆A(1)和所述支杆B(3)上，所述上夹板(8)的上表面设置有孔洞(7)且所述上夹板(8)设置在所述下夹板(9)的正上方，所述上夹板(8)内部的顶端固定有安装块(10)，所述安装块(10)上设置有密封垫(12)，所述安装块(10)的下端设置有柱塞(13)，且所述柱塞(13)的上表面设置有凹槽(16)，所述凹槽(16)中安装有所述晶圆(11)，所述上夹板(8)和所述下夹板(9)之间设置有密封条A(15)和密封条B(17)，且所述密封条A(15)安装在所述上夹板(8)上，所述密封条B(17)安装在所述下夹板(9)上，所述密封条A(15)和所述密封条B(17)中安装有磁铁(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述把手A(2)和所述把手B(4)上安装有橡胶套。

3.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述安装块(10)上设置有收容槽，且收容槽中设置有所述密封垫(12)。

4.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述柱塞(13)的底部安装有拉环(14)。

5.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述支杆A(1)和所述支杆B(3)上设置有栓孔，且所述固定栓(6)设置在栓孔中。

6.根据权利要求1所述的一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，其特征在于：所述支杆B(3)与所述支杆A(1)之间的夹角为120度。