[实用新型]一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗有效
申请号: | 201921758211.6 | 申请日: | 2019-10-20 |
公开(公告)号: | CN211199396U | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 刘国利;周毅;李国强 | 申请(专利权)人: | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 411100 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 手动 机械式 旋转 挡板 真空镀膜 观察窗 | ||
【权利要求书】:
1.一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗,包括设置在真空室壁上的观察窗,其特征在于:在观察窗斜上方的真空室壁上设有真空密封轴,所述真空密封轴穿过真空室壁与设置在真空侧的挡板连接,所述挡板包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以及遮挡部,在真空室壁内侧设有限制挡板关闭位置的下限位块,所述真空密封轴大气侧一端连接有手柄。
2.一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗,其特征在于:在真空室壁内侧还设有限制挡板最大开启位置的上限位块。
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