[实用新型]一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗

说明书

本实用新型公开了一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗，包括设置在真空室壁上的观察窗，在观察窗斜上方的真空室壁上设有真空密封轴，所述真空密封轴穿过真空室壁与设置在真空侧的挡板连接，所述挡板包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以及遮挡部，在真空室壁内侧设有限制挡板关闭位置的下限位块，所述真空密封轴大气侧一端连接有手柄。本实用新型结构简单，布局紧凑、合理，外表美观，手感舒适；开启、关闭方便，可手动随意调节开启角度；遮挡效果好，避免了普通观察窗玻璃在镀膜过程中变得模糊不清的情况，延长了观察窗玻璃更换或清洁的周期。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜室的观察窗。

背景技术

为方便在真空环境下对正在生产的真空室内的工况进行观察，现有真空设备上大都采取在腔体观察孔径内置一个可翻转式挡板的结构，由于挡板要翻转，所以挡板外边缘和腔体观察孔内边必须留有足够的空间，在镀膜过程中会有一些沉积物通过此间隙镀到观察窗玻璃上，导致无法看到真空室内的工况，必须拆下玻璃清洗或更换，使得生产成本增加，同时降低了生产效率。

发明内容

针对上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗，延长观察窗玻璃更换或清洁的周期。

本实用新型采用的技术方案如下：一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗，包括设置在真空室壁上的观察窗，在观察窗斜上方的真空室壁上设有真空密封轴，所述真空密封轴穿过真空室壁与设置在真空侧的挡板连接，所述挡板包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以及遮挡部，在真空室壁内侧设有限制挡板关闭位置的下限位块，所述真空密封轴大气侧一端连接有手柄。

在真空室壁内侧还设有限制挡板最大开启位置的上限位块。

本实用新型具有的优点如下：

1、结构简单，布局紧凑、合理，外表美观，手感舒适；

2、开启、关闭方便，开启时可手动随意调节开启角度，关闭时，放开手柄，挡板在重力的作用下自动回复到关闭位置；

3、遮挡效果好，避免了普通观察窗玻璃在镀膜过程中变得模糊不清的情况，延长了观察窗玻璃更换或清洁的周期。

附图说明

图1是本实用新型正面的结构示意图。

图2是本实用新型侧面的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本实用新型作更全面、细致地描述，但本实用新型的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图1、图2所示，一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗，包括设置在真空室壁5上的观察窗3，在观察窗3斜上方的真空室壁5上设有真空密封轴4，所述真空密封轴4穿过真空室壁5与设置在真空侧的挡板2连接，所述挡板2包括与垂直方向呈一定夹角的连接部以及遮挡部，在真空室壁内侧设有限制挡板2关闭位置的下限位块以及限制挡板2最大开启位置的上限位块。所述真空密封轴大气侧一端连接有手柄1。

采用本方案的设计，挡板自重落到挡板下限位块上，即常关闭状态。如需观察时，握住手柄1逆时针旋转即可打开，开启度随手动角度任意开启窗口大小；关闭时轻轻放开手柄，由于重力的作用挡板回复到关闭位置。

本实用新型的一种带手动机械式旋转挡板的真空镀膜机用观察窗，可广泛用PVD、CVD等各类镀膜设备中，如Low-E线、磁控溅射镀膜机、蒸发镀膜机、PECVD沉积设备、LPCVD沉积设备、微波CVD沉积设备等。

在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下，本实用新型所属领域的技术人员将会想到本实用新型的许多修改和其它实施方案。因此，要理解的是，本实用新型不限于公开的具体实施方案，修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语，它们仅以一般和描述性意义使用，而不用于限制。