[实用新型]一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成

权利要求书

1.一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的上端面的一侧设置有安装座(2)，所述安装座(2)上具有安装通孔(21)，所述安装通孔(21)的一侧固定连接有外套管(3)，所述外套管(3)的中心通道与安装通孔(21)连通，所述安装通孔(21)的另一侧设置有滚珠丝杆(4)，所述滚珠丝杆(4)穿过安装通孔(21)和外套管(3)的中心通道，同时所述滚珠丝杆(4)上套设有螺母(5)，所述外套管(3)的自由端位置设置有加强管(6)，所述加强管(6)套设在滚珠丝杆(4)上，且与所述螺母(5)固定连接，所述加强管(6)能随螺母(5)在滚珠丝杆(4)方向做直线运行，所述加强管(6)的未连接端密封设置推进块(7)，所述推进块(7)能推动待清洗的晶片移动。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，其特征在于：所述滚珠丝杆(4)的端部露出外套管(3)的中心通道，且所述加强管(6)套设在外套管(3)内，并能在所述外套管(3)的中心通道内沿轴向方向滑动，同时在所述外套管(3)的自由端部分设置环形凹槽(31)，所述环形凹槽(31)内设置密封圈，所述密封圈设置有多个。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，其特征在于：所述外套管(3)与底板(1)平行设置，且所述外套管(3)的中心通道与安装通孔(21)处于同一轴线。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，其特征在于：所述推进块(7)与底板(1)之间设置有滑轨(8)，远离螺母(5)的所述滑轨(8)的一端设置有限位块(9)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，其特征在于：所述推进块(7)上设置有滑块(71)，所述滑块(71) 与滑轨(8)配合滑动设置。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，其特征在于：所述螺母(5)上连接有止退盖(51)，所述止退盖(51)位于靠近所述安装座(2)的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，其特征在于：远离所述外套管(3)的所述安装座(2)的一侧设置有丝杆套(10)，所述丝杆套(10)紧密卡设在所述滚珠丝杆(4)和安装座(2)的安装通孔(21)之间。