[实用新型]一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成

说明书

本实用新型公开了一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，包括底板，所述底板的上端面的一侧设置有安装座，所述安装座上具有安装通孔，所述安装通孔的一侧固定连接有外套管，所述外套管的中心通道与安装通孔连通，所述安装通孔的另一侧设置有滚珠丝杆，所述滚珠丝杆穿过安装通孔和外套管的中心通道，同时所述滚珠丝杆上套设有螺母，所述外套管的自由端位置设置有加强管，所述加强管套设在滚珠丝杆上，且与所述螺母固定连接，所述加强管能随螺母在滚珠丝杆方向做直线运行，所述加强管的未连接端密封设置推进块，所述推进块能推动待清洗的晶片移动。保证了滚珠丝杆的密封，提高了滚珠丝杆的使用寿命，从而间接提高晶片的收益。

技术领域

本实用新型涉及晶片的清洗设备领域，尤其涉及一种复合型的用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成。

背景技术

晶片，也就是硅片，在半导体行业中普遍使用，而半导体行业又是蓬勃发展的，其中会涉及到晶片的清洗，而晶片的清洗不是简单的水洗，是需要在酸溶液或其他溶液中进行的，同时在清洗过程中晶片是需要移动的，而现有的移动时利用单纯的滚珠丝杆实现的，金属材质的滚珠丝杆在酸溶液中容易被腐蚀，即使滚珠丝杆没有浸入酸溶液中，酸溶液溅落在滚珠丝杆上也会发生腐蚀，不利于后续的使用。

因此本实用新型发明人，针对滚珠丝杆易被腐蚀的问题，旨在发明一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成，包括底板，所述底板的上端面的一侧设置有安装座，所述安装座上具有安装通孔，所述安装通孔的一侧固定连接有外套管，所述外套管的中心通道与安装通孔连通，所述安装通孔的另一侧设置有滚珠丝杆，所述滚珠丝杆穿过安装通孔和外套管的中心通道，同时所述滚珠丝杆上套设有螺母，所述外套管的自由端位置设置有加强管，所述加强管套设在滚珠丝杆上，且与所述螺母固定连接，所述加强管能随螺母在滚珠丝杆方向做直线运行，所述加强管的未连接端密封设置推进块，所述推进块能推动待清洗的晶片移动。

优选地，所述滚珠丝杆的端部露出外套管的中心通道，且所述加强管套设在外套管内，并能在所述外套管的中心通道内沿轴向方向滑动，同时在所述外套管的自由端部分设置环形凹槽，所述环形凹槽内设置密封圈，所述密封圈设置有多个。保证移动过程中的稳定性，提高整体的密封效果，防止酸溶液进入滚珠丝杆内部。

优选地，所述外套管与底板平行设置，且所述外套管的中心通道与安装通孔处于同一轴线。保证移动过程中的稳定，方向的一致性。

优选地，所述推进块与底板之间设置有滑轨，远离螺母的所述滑轨的一端设置有限位块。保证了推进块在滑动时的稳定性，同时限位块也能保证推进块的移动距离，防止螺母脱离滚珠丝杆。

优选地，所述推进块上设置有滑块，所述滑块与滑轨配合滑动设置。保证了推进块直线滑动的稳定性。

优选地，远离所述外套管的所述安装座的一侧设置有丝杆套，所述丝杆套紧密卡设在所述滚珠丝杆和安装座的安装通孔之间。可以理解为丝杆套是保证了滚珠丝杆与安装座的安装通孔连接的密封性，防止清洗溶液进入滚珠丝杆内，对滚珠丝杆造成损伤。

优选地，所述螺母上连接有止退盖，所述止退盖设置在靠近安装座的一侧。保证了螺母在倒退时不会损伤安装座。

本实用新型一种用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成的有益效果是，保证了滚珠丝杆的密封，提高了滚珠丝杆的使用寿命，从而间接提高晶片的收益。

附图说明

图1为用于晶片清洗的滚珠丝杆全密封推进器总成的俯视结构示意图。

图2为图1的纵剖面结构示意图。