[实用新型]一种微秒激光加工装置

权利要求书

1.一种微秒激光加工装置，包括Z轴直线电机(1)、准直器支架(2)、准直器(3)、凸透镜支架(4)、凸透镜(5)、X轴直线电机(6)、X轴滑台(7)、立柱(8)、Z轴滑块(9)、微秒激光器(10)、基座(11)、Y轴滑台(12)、Y轴直线电机(13)，其特征是微秒激光器(10)、立柱(8)、Y轴直线电机(13)安装在基座(11)上；Y轴滑台(12)安装在Y轴直线电机(13)的动子上，由Y轴直线电机(13)控制Y轴滑台(12)在Y轴方向移动；X轴直线电机(6)安装在Y轴滑台(12)上，X轴滑台(7)安装在X轴直线电机(6)的动子上，由X轴直线电机(6)控制X轴滑台(7)在X轴方向移动；工件装夹在X轴滑台(7)上；立柱(8)上装有Z轴直线电机(1)，Z轴滑块(9)安装在Z轴直线电机(1)的动子上，由Z轴直线电机(1)控制Z轴滑块(9)在Z轴上运动，准直器(3)和凸透镜(5)分别被准直器支架(2)和凸透镜支架(4)安装到Z轴滑块(9)上，激光从微秒激光器(10)中发出，经光纤在准直器(3)中调整为平行光，由凸透镜(5)聚焦，照射到工件上；Z轴直线电机(1)通过控制Z轴滑块(9)在Z轴的上下移动从而控制激光与工件间的离焦量，实现精确调焦。