[实用新型]一种微秒激光加工装置

说明书

本实用新型设计一种微秒激光加工装置，包括Z轴直线电机、准直器支架、准直器、凸透镜支架、凸透镜、X轴直线电机、X轴滑台、立柱、Z轴滑块、微秒激光器、基座、Y轴滑台、Y轴直线电机，其特征是微秒激光器、立柱、Y轴直线电机安装在基座上，由Y轴直线电机控制Y轴滑台在Y轴方向移动，由X轴直线电机控制X轴滑台在X轴方向移动；立柱8上装有Z轴直线电机，由Z轴直线电机控制Z轴滑块在Z轴上运动，激光从微秒激光器中发出，经光纤在准直器中调整为平行光，由凸透镜聚焦，照射到工件上；Z轴直线电机通过控制Z轴滑块在Z轴的上下移动从而控制激光与工件间的离焦量。

技术领域

本实用新型涉及激光加工设备技术领域，具体涉及一种微秒激光加工装置。

背景技术

激光表面微织构技术可用于提高材料表面的硬度、耐磨、耐高温、抗氧化等性能，具有效率高、成本低、无污染、非接触式、尺寸控制精度高等优点。目前，通常采用微秒、皮秒、飞秒等激光对材料表面进行微织构加工，在加工时，由于不同工件厚度不同，且加工不同形貌的织构所需离焦量不同，需要调整工件与凸透镜之间的离焦量。现有的微秒激光加工装置一般为手动控制凸透镜焦点位置在Z轴上移动，操作费时且精度低，影响实验结果。

发明内容

本实用新型目的在于解决上述背景技术中存在的问题，提出一种微秒激光加工装置，加工时可以实现X、Y、Z三轴联动，在加工不同厚度材料的织构和不同形貌的织构时，具有较大加工优势。

本实用新型的技术方案是：

一种微秒激光加工装置，包括Z轴直线电机1、准直器支架2、准直器3、凸透镜支架4、凸透镜5、X轴直线电机6、X轴滑台7、立柱8、Z轴滑块9、微秒激光器10、基座11、Y 轴滑台12、Y轴直线电机13，其特征是微秒激光器10、立柱8、Y轴直线电机13安装在基座11上；Y轴滑台12安装在Y轴直线电机13的动子上，由Y轴直线电机13控制Y轴滑台 12在Y轴方向移动；X轴直线电机6安装在Y轴滑台12上，X轴滑台7安装在X轴直线电机6的动子上，由X轴直线电机6控制X轴滑台7在X轴方向移动；工件装夹在X轴滑台7 上；立柱8上装有Z轴直线电机1，Z轴滑块9安装在Z轴直线电机1的动子上，由Z轴直线电机1控制Z轴滑块9在Z轴上运动，准直器3和凸透镜5分别被准直器支架2和凸透镜支架4安装到Z轴滑块9上，激光从微秒激光器10中发出，经光纤在准直器3中调整为平行光，由凸透镜5聚焦，照射到工件上；Z轴直线电机1通过控制Z轴滑块9在Z轴的上下移动从而控制激光与工件间的离焦量，实现精确调焦。

本实用新型具有以下优点：

(1)结构简单，成本低廉。

(2)精度高，操作、调试简便。

(3)可实现Z向伺服电机调节离焦量。

附图说明

图1为本实用新型的三维结构示意图。

图中，1.Z轴直线电机，2.准直器支架，3.准直器，4.凸透镜支架，5.凸透镜，6.X轴直线电机，7.X轴滑台，8.立柱，9.Z轴滑块，10.微秒激光器，11.基座，12.Y轴滑台，13.Y轴直线电机。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示。