[实用新型]一种靶材贴合装置

权利要求书

1.一种靶材贴合装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定安装加热板(2)，所述加热板(2)上放置靶拖(3)，所述靶拖(3)上放置靶材(4)，所述靶材(4)和靶拖(3)相接处的一面均固定涂有易熔金属涂层(5)，所述靶材(4)和靶拖(3)的侧壁间卡接定位框(6)，所述加热板(2)的一侧的底座(1)上固定安装固定架(7)，所述固定架(7)顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱(8)，所述压紧螺柱(8)的底部贯穿固定架(7)并转动卡接压紧板(9)，所述压紧板(9)紧密压在靶材(4)上。

2.根据权利要求1所述的一种靶材贴合装置，其特征在于：所述定位框(6)包括四个定位块(61)，所述定位块(61)为L型结构，且定位块(61)内壁紧密贴合靶拖(3)和靶材(4)的四角处外壁，相邻所述定位块(61)的外壁间安装伸缩杆(66)，所述定位块(61)的一边内壁开有贯穿定位块(61)外壁的插入槽(63)，所述定位块(61)的另一边内壁开有卡槽(62)，所述插入槽(63)内滑动插入密封板(65)，所述密封板(65)的一端卡接在卡槽(62)内，且卡槽(62)内的密封板(65)端面紧密贴合相邻定位块(61)上的插入槽(63)内得密封板(65)外壁，所述密封板(65)紧密贴合易熔金属涂层(5)两侧的靶拖(3)和靶材(4)，所述插入槽(63)一侧的定位块(61)外壁通过螺纹结构套接锁紧螺栓(64)，所述锁紧螺栓(64)的端面紧密压在密封板(65)的外壁上。

3.根据权利要求2所述的一种靶材贴合装置，其特征在于：所述插入槽(63)和卡槽(62)的宽度等于密封板(65)的厚度，所述密封板(65)的高度大于易熔金属涂层(5)的厚度。

4.根据权利要求2所述的一种靶材贴合装置，其特征在于：所述伸缩杆(66)包括固定套(661)和滑杆(662)，所述固定套(661)和滑杆(662)的一端分别固定连接相邻两个定位块(61)相靠近的一侧外壁，所述滑杆(662)的另一端滑动套接在固定套(661)内，所述固定套(661)的另一端端面紧密贴合调节螺母(665)的端面，所述调节螺母(665)的外壁一体成型设有转环(663)，所述调节螺母(665)外壁滑动套接压盘(664)，所述压盘(664)紧密压在转环(663)上，且压盘(664)的内壁过盈套接固定套(661)外壁，所述调节螺母(665)的内壁通过螺纹结构套接滑杆(662)的外壁。

5.根据权利要求1所述的一种靶材贴合装置，其特征在于：所述加热板(2)为电热板，所述易熔金属涂层(5)为金属铟合金涂层，且易熔金属涂层(5)的表面与靶拖(3)和靶材(4)外壁平齐，所述压紧板(9)的底部固定安装多个弹性橡胶半球结构的压紧垫。