[实用新型]一种靶材贴合装置

说明书

本实用新型公开了一种靶材贴合装置，包括底座，底座上安装加热板，加热板上放置靶拖，靶拖上放置靶材，靶材和靶拖相接处的一面均涂有易熔金属涂层，靶材和靶拖的侧壁间卡接定位框，加热板的一侧的底座上安装固定架，固定架顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱，压紧螺柱的底部贯穿固定架并卡接压紧板，压紧板紧密压在靶材上。通过定位框包裹靶拖和靶材外壁，从而将靶拖和靶材外壁对齐定位，将定位后的靶拖和靶材放置到压紧板底部的加热板上，通过压紧螺柱带动压紧板压紧靶材，从而使得靶材和靶拖固定，通过加热板加热靶拖，使得易熔金属涂层融化，定位框对靶材和靶拖相接处的缝隙极性封堵，避免融化的金属外溢，则金属液凝固后将靶材和靶拖牢固贴合。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种靶材贴合装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，靶材通常需要与靶拖进行贴合使用，目前的贴合方式大多通过熔化的易熔金属涂层将靶拖和靶材间进行贴合固定，在贴合前需要将靶拖和靶材对齐，目前的贴合装置都是通过人工手工对齐，精确度低，且贴合时易熔金属涂层熔化易导致金属液流出，使得靶材与靶拖间金属液凝固后靶材与靶拖不平行，影响后续使用，为此我们提出一种靶材贴合装置用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种靶材贴合装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材贴合装置，包括底座，所述底座上固定安装加热板，所述加热板上放置靶拖，所述靶拖上放置靶材，所述靶材和靶拖相接处的一面均固定涂有易熔金属涂层，所述靶材和靶拖的侧壁间卡接定位框，所述加热板的一侧的底座上固定安装固定架，所述固定架顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱，所述压紧螺柱的底部贯穿固定架并转动卡接压紧板，所述压紧板紧密压在靶材上。

优选的，所述定位框包括四个定位块，所述定位块为L型结构，且定位块内壁紧密贴合靶拖和靶材的四角处外壁，相邻所述定位块的外壁间安装伸缩杆，所述定位块的一边内壁开有贯穿定位块外壁的插入槽，所述定位块的另一边内壁开有卡槽，所述插入槽内滑动插入密封板，所述密封板的一端卡接在卡槽内，且卡槽内的密封板端面紧密贴合相邻定位块上的插入槽内得密封板外壁，所述密封板紧密贴合易熔金属涂层两侧的靶拖和靶材，所述插入槽一侧的定位块外壁通过螺纹结构套接锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的端面紧密压在密封板的外壁上。

优选的，所述插入槽和卡槽的宽度等于密封板的厚度，所述密封板的高度大于易熔金属涂层的厚度。

优选的，所述伸缩杆包括固定套和滑杆，所述固定套和滑杆的一端分别固定连接相邻两个定位块相靠近的一侧外壁，所述滑杆的另一端滑动套接在固定套内，所述固定套的另一端端面紧密贴合调节螺母的端面，所述调节螺母的外壁一体成型设有转环，所述调节螺母外壁滑动套接压盘，所述压盘紧密压在转环上，且压盘的内壁过盈套接固定套外壁，所述调节螺母的内壁通过螺纹结构套接滑杆的外壁。

优选的，所述加热板为电热板，所述易熔金属涂层为金属铟合金涂层，且易熔金属涂层的表面与靶拖和靶材外壁平齐，所述压紧板的底部固定安装多个弹性橡胶半球结构的压紧垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过伸缩杆调节定位块间距，使得四个L型结构的定位块围成不同大小的矩形结构，便于使得定位块内壁贴合不同尺寸的靶拖和靶材的外壁，将靶拖和靶材外壁对齐夹紧，确保靶材顶面与靶拖平行，定位准确，且适用性高；四根密封板紧密贴合易熔金属涂层处的缝隙，并通过锁紧螺栓对密封板固定，则易熔金属涂层融化后不会溢出，且防止外界空气氧化金属液，确保金属液凝固后均匀分布在靶拖和靶材间，使得靶拖和靶材贴合牢固且精确；通过转动调节螺母，从而带动滑杆沿固定套滑动，从而快速调节定位块间距，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；