[实用新型]一种可快速清扫内腔的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201921763339.1 申请日: 2019-10-21
公开(公告)号: CN210683926U 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 陈晓东 申请(专利权)人: 常州鑫立离子技术有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;B08B1/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213114 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 快速 清扫 真空镀膜
【权利要求书】:

1.一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,包括镀膜机机箱(1),其特征在于:所述镀膜机机箱(1)的顶端安装有抽真空装置(10),所述镀膜机机箱(1)的一侧安装有冷凝箱(25),另一侧安装有加热器(23),所述镀膜机机箱(1)的背面四个拐角处均焊接有第一电动伸缩杆安装箱(3),所述第一电动伸缩杆安装箱(3)内安装有第一电动伸缩杆(26),所述镀膜机机箱(1)的背面中部安装有电子枪(2),所述第一电动伸缩杆(26)的一端安装有第一固定板(8),所述第一固定板(8)的一侧安装有第二电动伸缩杆安装箱(9),所述第二电动伸缩杆安装箱(9)的两侧均安装有第二电动伸缩杆(11),所述第二电动伸缩杆(11)的一端安装有第一电机固定板(12),所述第二电动伸缩杆安装箱(9)的顶端和底端均安装有第三电动伸缩杆(13),所述第三电动伸缩杆(13)的一端安装有第二电机固定板(14),所述第一电机固定板(12)和第二电机固定板(14)上均安装有电机(22),所述电机(22)上固定有毛刷固定板(21),所述毛刷固定板(21)上安装有若干个毛刷(15),所述第二电动伸缩杆安装箱(9)的一侧设有第二固定板(17),所述第二固定板(17)的一侧焊接有托盘(16),所述第一固定板(8)、第二固定板(17)和第二电动伸缩杆安装箱(9)的中部均设有电子枪活动槽(24),所述镀膜机机箱(1)内设有真空室(7),所述镀膜机机箱(1)上连接有真空门(18),所述真空门(18)上安装有观察窗(19),所述观察窗(19)的一侧安装有把手(20),所述镀膜机机箱(1)的底端设有控制柜(5),所述控制柜(5)上焊接有支撑腿(4),所述控制柜(5)的一侧设有电源开关(6)。

2.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,其特征在于:所述抽真空装置(10)、加热器(23)和冷凝箱(25)均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱(1)上,所述电子枪(2)通过螺栓固定在所述镀膜机机箱(1)的背面中部上。

3.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,其特征在于:所述控制柜(5)通过螺栓固定在所述镀膜机机箱(1)的底部上,所述支撑腿(4)与所述镀膜机机箱(1)焊接相连。

4.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,其特征在于:所述第一电动伸缩杆(26)的一端通过螺栓安装在所述第一电动伸缩杆安装箱(3)内,另一端通过螺栓与所述第一固定板(8)固定相连,所述第二电动伸缩杆安装箱(9)分别与所述第一固定板(8)和第二固定板(17)通过螺栓固定相连。

5.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,其特征在于:所述毛刷(15)固定在所述毛刷固定板(21)上,所述毛刷固定板(21)与所述电机(22)的转轴固定相连,所述电机(22)通过螺栓与所述第一电机固定板(12)和第二电机固定板(14)固定相连,所述第一电机固定板(12)与第二电动伸缩杆(11)通过螺栓固定相连,所述第二电机固定板(14)与第三电动伸缩杆(13)通过螺栓固定相连,所述第二电动伸缩杆(11)和第三电动伸缩杆(13)均通过螺栓固定在第二电动伸缩杆安装箱(9)内。

6.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,其特征在于:所述真空门(18)通过密封垫和铰链与所述镀膜机机箱(1)固定相连,所述电子枪(2)上设有正负两极,所述抽真空装置(10)包括机械泵、罗茨泵和扩散泵,所述扩散泵与真空室(7)相连。

7.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,其特征在于:所述控制柜(5)分别与所述电子枪(2)、抽真空装置(10)、加热器(23)和冷凝箱(25)电性连接,所述电源开关(6)分别与所述第一电动伸缩杆(26)、第二电动伸缩杆(11)、第三电动伸缩杆(13)和电机(22)电性连接。

8.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,其特征在于:所述冷凝箱(25)内设有冷凝器、水箱和冷凝管。

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