[实用新型]一种可快速清扫内腔的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201921763339.1 申请日: 2019-10-21
公开(公告)号: CN210683926U 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 陈晓东 申请(专利权)人: 常州鑫立离子技术有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;B08B1/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213114 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 快速 清扫 真空镀膜
【说明书】:

本实用新型公开了一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,包括镀膜机机箱,所述镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置,所述镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱,另一侧安装有加热器,所述镀膜机机箱的背面四个拐角处均焊接有第一电动伸缩杆安装箱,所述第一电动伸缩杆安装箱内安装有第一电动伸缩杆,所述镀膜机机箱的背面中部安装有电子枪,所述第一电动伸缩杆的一端安装有第一固定板,该真空镀膜机在对镀膜件进行镀膜完成后,自动将镀膜件从真空室内伸出,并在伸出的同时,对镀膜箱的内壁进行快速清扫,并将垃圾一并排出,让真空室更加的干净,提高镀膜机的使用寿命,也提高镀膜的质量,节省人工清理的成本,也提高镀膜效率,提高整体效益。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域,具体为一种可快速清扫内腔的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜,现有的真空镀膜机在镀膜的过程中往往会将镀膜箱的内壁镀很多镀膜材料,时间长久镀膜材料的增厚,不仅影响镀膜机的使用寿命,而且也影响镀膜的质量,镀膜箱内壁的清理往往采用人工清理,十分的不方便,每次镀膜完成后需要清理内壁一次,降低镀膜效率,浪费大量时间,增加镀膜成本。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种可快速清扫内腔的真空镀膜机,包括镀膜机机箱,所述镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置,所述镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱,另一侧安装有加热器,所述镀膜机机箱的背面四个拐角处均焊接有第一电动伸缩杆安装箱,所述第一电动伸缩杆安装箱内安装有第一电动伸缩杆,所述镀膜机机箱的背面中部安装有电子枪,所述第一电动伸缩杆的一端安装有第一固定板,所述第一固定板的一侧安装有第二电动伸缩杆安装箱,所述第二电动伸缩杆安装箱的两侧均安装有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆的一端安装有第一电机固定板,所述第二电动伸缩杆安装箱的顶端和底端均安装有第三电动伸缩杆,所述第三电动伸缩杆的一端安装有第二电机固定板,所述第一电机固定板和第二电机固定板上均安装有电机,所述电机上固定有毛刷固定板,所述毛刷固定板上安装有若干个毛刷,所述第二电动伸缩杆安装箱的一侧设有第二固定板,所述第二固定板的一侧焊接有托盘,所述第一固定板、第二固定板和第二电动伸缩杆安装箱的中部均设有电子枪活动槽,所述镀膜机机箱内设有真空室,所述镀膜机机箱上连接有真空门,所述真空门上安装有观察窗,所述观察窗的一侧安装有把手,所述镀膜机机箱的底端设有控制柜,所述控制柜上焊接有支撑腿,所述控制柜的一侧设有电源开关。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述抽真空装置、加热器和冷凝箱均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱上,所述电子枪通过螺栓固定在所述镀膜机机箱的背面中部上。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述控制柜通过螺栓固定在所述镀膜机机箱的底部上,所述支撑腿与所述镀膜机机箱焊接相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一电动伸缩杆的一端通过螺栓安装在所述第一电动伸缩杆安装箱内,另一端通过螺栓与所述第一固定板固定相连,所述第二电动伸缩杆安装箱分别与所述第一固定板和第二固定板通过螺栓固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述毛刷固定在所述毛刷固定板上,所述毛刷固定板与所述电机的转轴固定相连,所述电机通过螺栓与所述第一电机固定板和第二电机固定板固定相连,所述第一电机固定板与第二电动伸缩杆通过螺栓固定相连,所述第二电机固定板与第三电动伸缩杆通过螺栓固定相连,所述第二电动伸缩杆和第三电动伸缩杆均通过螺栓固定在第二电动伸缩杆安装箱内。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述真空门通过密封垫和铰链与所述镀膜机机箱固定相连,所述电子枪上设有正负两极,所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和扩散泵,所述扩散泵与真空室相连。

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