[实用新型]一种光分路器的晶圆贴片装置

权利要求书

1.一种光分路器的晶圆贴片装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的上表面固定连接有固定座（2），所述固定座（2）的上表面固定镶嵌有电动推杆（3），所述电动推杆（3）输出端的底端固定连接有压板（4），所述底座（1）的上表面开设有定位槽（5），所述定位槽（5）的内底壁固定连接有相对称的限位板（6），所述压板（4）的上表面开设有相对称的条形穿插孔（7），两个所述限位板（6）的顶端均贯穿条形穿插孔（7）并延伸至条形穿插孔（7）的外部，所述压板（4）的底面固定连接有四个吸盘（12）所述压板（4）的下方设有支撑板（8），两个所述限位板（6）相互靠近的一侧面均开设有卡槽（9），所述支撑板（8）的左右两端均卡接在卡槽（9）的内部，所述支撑板（8）的上表面开设有凸型定位孔（10），所述凸型定位孔（10）的内部设有透气网（13），所述底座（1）的内部开设有放置腔（15），所述放置腔（15）的内底壁固定镶嵌有三个加热板（18），所述放置腔（15）的内顶壁开设有等距离排列的出气孔（11）。

2.根据权利要求1所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于：每个所述卡槽（9）的内底壁均固定连接有缓冲弹簧（14），每个所述缓冲弹簧（14）的顶端均与支撑板（8）的底面固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于：所述透气网（13）的底面与凸型定位孔（10）的内底壁相接触，所述透气网（13）的水平长度值与凸型定位孔（10）的水平长度值相等。

4.根据权利要求1所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于：所述放置腔（15）的内侧壁开设有相对称的进气孔（16），每个所述进气孔（16）的内部均设有过滤板（17），所述过滤板（17）的外表面与进气孔（16）的内壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种光分路器的晶圆贴片装置，其特征在于：所述放置腔（15）的内部设有风机（19），所述风机（19）的外表面与放置腔（15）的内侧壁固定连接，且风机（19）位于加热板（18）的上方。