[实用新型]一种提升移动石英坩埚的吸盘装置有效
申请号: | 201921769458.8 | 申请日: | 2019-10-21 |
公开(公告)号: | CN210914923U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 方汉春;许寅 | 申请(专利权)人: | 浙江矽盛电子有限公司 |
主分类号: | B66C1/02 | 分类号: | B66C1/02 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所(普通合伙) 33206 | 代理人: | 周培培 |
地址: | 321071 浙江省衢*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提升 移动 石英 坩埚 吸盘 装置 | ||
1.一种提升移动石英坩埚的吸盘装置,包括吸盘主体(9),其特征在于:所述吸盘主体(9)包括第一壳体(10)和第二壳体(12),所述第一壳体(10)内侧固定连接有环形块(14),且环形块(14)通过内侧设置的螺纹槽(15)与第二壳体(12)连接,所述第二壳体(12)内侧固定连接有环形块(14),且环形块(14)通过内侧设置的螺纹槽(15)连接有沉孔止口(13),所述沉孔止口(13)内部两侧分别螺纹连接有第一固定环(19)和第二固定环(23),且第一固定环(19)设置于第二固定环(23)左侧。
2.根据权利要求1所述的一种提升移动石英坩埚的吸盘装置,其特征在于:所述吸盘主体(9)前、后端表面中央位置固定连接有一组拉动把手(11),且吸盘主体(9)顶部中段通过固定块(6)螺纹连接有螺杆(4)。
3.根据权利要求2所述的一种提升移动石英坩埚的吸盘装置,其特征在于:所述螺杆(4)上端固定连接有吊环(3),且吊环(3)内侧等距离设置有弧形槽(5)。
4.根据权利要求1所述的一种提升移动石英坩埚的吸盘装置,其特征在于:所述吸盘主体(9)两侧上部分别连接有连接杆(2)和连接管(7),且连接杆(2)、连接管(7)上端分别设置有真空压力表(1)和真空管接口(8),连接杆(2)设置于连接管(7)左侧。
5.根据权利要求1所述的一种提升移动石英坩埚的吸盘装置,其特征在于:所述第一固定环(19)、第二固定环(23)内部设置有一组伸缩弹簧(22),且伸缩弹簧(22)内侧之间弹性连接有一组支杆(20)。
6.根据权利要求1所述的一种提升移动石英坩埚的吸盘装置,其特征在于:所述沉孔止口(13)内中部卡接连接有石英坩埚体(21),且沉孔止口(13)与石英坩埚体(21)之间设置有密封垫圈(24)。
7.根据权利要求1所述的一种提升移动石英坩埚的吸盘装置,其特征在于:所述环形块(14)通过两侧设置的定位杆(16)与安装板(18)上端中部设置的定位孔(17)套接连接,且安装板(18)固定连接于第一壳体(10)、第二壳体(12)内部两端中部。
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