[实用新型]一种提升移动石英坩埚的吸盘装置

说明书

本实用新型公开了一种提升移动石英坩埚的吸盘装置，包括吸盘主体，所述吸盘主体包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体内侧固定连接有环形块，且环形块通过内侧设置的螺纹槽与第二壳体连接，所述第二壳体内侧固定连接有环形块，且环形块通过内侧设置的螺纹槽连接有沉孔止口，所述沉孔止口内部两侧分别螺纹连接有第一固定环和第二固定环，且第一固定环设置于第二固定环左侧。本实用新型通过设置吸盘主体、吊环、沉孔止口、第一固定环、第二固定环、定位孔、定位杆和环形块结构，具有提高安全系数和生产效率，便于对吸盘主体进行组装和对不同口径石英坩埚体进行结构固定的优点。

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚技术领域，具体为一种提升移动石英坩埚的吸盘装置。

背景技术

石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，目前，传统的投料方式是开炉热场清扫组装完毕后，两人协作把石英坩埚抬入三瓣坩埚内，直接在炉内装叠硅料，完成后封炉抽空，人工抬石英坩埚存在安全隐患，由于装料时间较长，石英坩埚包装拆开后装料，石英坩埚和硅原料长时间暴露在空中，车间内粉尘水分容易落入石英坩埚内对硅料造成污染，装料过程中，硅粉和碎硅料容易落入热场内，高温熔化粘连各石墨件结合处影响使用寿命，硅粉和碎硅料停留在热场表面，抽空时有可能在炉内造成扬尘，影响拉晶，局限性较大，因此有必要对现有技术进行改进，以解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种提升移动石英坩埚的吸盘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种提升移动石英坩埚的吸盘装置，包括吸盘主体，所述吸盘主体包括第一壳体和第二壳体，所述第一壳体内侧固定连接有环形块，且环形块通过内侧设置的螺纹槽与第二壳体连接，所述第二壳体内侧固定连接有环形块，且环形块通过内侧设置的螺纹槽连接有沉孔止口，所述沉孔止口内部两侧分别螺纹连接有第一固定环和第二固定环，且第一固定环设置于第二固定环左侧。

优选的，所述吸盘主体前、后端表面中央位置固定连接有一组拉动把手，且吸盘主体顶部中段通过固定块螺纹连接有螺杆。

优选的，所述螺杆上端固定连接有吊环，且吊环内侧等距离设置有弧形槽。

优选的，所述吸盘主体两侧上部分别连接有连接杆和连接管，且连接杆、连接管上端分别设置有真空压力表和真空管接口，连接杆设置于连接管左侧。

优选的，所述第一固定环、第二固定环内部设置有一组伸缩弹簧，且伸缩弹簧内侧之间弹性连接有一组支杆。

优选的，所述沉孔止口内中部卡接连接有石英坩埚体，且沉孔止口与石英坩埚之间设置有密封垫圈。

优选的，所述环形块通过两侧设置的定位杆与安装板上端中部设置的定位孔套接连接，且安装板固定连接于第一壳体、第二壳体内部两端中部。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种提升移动石英坩埚的吸盘装置，具备以下有益效果：