[实用新型]PVD真空离子镀膜机的自动上料装置有效
申请号: | 201921776146.X | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN210657115U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 王骏;费永强;徐侨 | 申请(专利权)人: | 浙江宝鸿新材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 313000 浙江省湖州市南太湖高新*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | pvd 真空 离子 镀膜 自动 装置 | ||
1.PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,其特征在于,包括工件装载单元、装载机械臂,所述工件装载单元包括能够旋转的主安装轴(110)、通过所述主安装轴(110)安装的两个或多个固定框架(120),所述固定框架(120)用于固定放置工件,且其上部具有使工件通过的上通入槽(121);所述装载机械臂包括机械臂支架(210)、安装于所述机械臂支架(210)上的旋转立柱(280)、通过所述旋转立柱(280)安装的升降单元(220)、第一端能够转动地安装于所述升降单元(220)上的连接臂(230)、能够旋转地安装于所述连接臂(230)第二端的竖直安装轴(240)、通过所述竖直安装轴(240)固定安装的装载框架(250)、通过所述竖直安装轴(240)固定安装的操作手柄(260)、及控制系统,所述装载框架(250)用于通过所述上通入槽(121)向所述固定框架(120)上料。
2.根据权利要求1所述的PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,其特征在于,所述装载框架(250)包括中梃竖梁(251)、能够升降地设置于所述中梃竖梁(251)上的第一横梁(252)、固定设置于所述中梃竖梁(251)上的第二横梁(253),所述第一横梁(252)上设置有一对工件夹持头(254),所述第二横梁(253)上设置有一对竖直开设的装板导向槽(255),一对所述夹持头(254)、一对所述装板导向槽(255)共同形成工件的夹持限位空间。
3.根据权利要求2所述的PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,其特征在于,所述装载机械臂还包括用于使所述夹持限位空间与所述上通入槽(121)对准的对准单元。
4.根据权利要求3所述的PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,其特征在于,所述装板导向槽(255)由一对间距设置的限位块(256)形成;所述对准单元包括自所述限位块(256)的前端壁向下延伸形成的纵向限位板(271)、自其中一个所述限位块(256)的外侧壁向下延伸形成的横向限位板(272);并当一对所述纵向限位板(271)、一个所述横向限位板(272)分别与所述固定框架(120)的两个外侧壁相抵靠时,所述夹持限位空间与所述上通入槽(121)对准。
5.根据权利要求4所述的PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,其特征在于,所述纵向限位板(271)、所述横向限位板(272)的抵靠工作面上均设置有压力传感器,所述压力传感器与所述控制系统信号连接。
6.根据权利要求2所述的PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,其特征在于,所述第一横梁(252)受链条链轮驱动结构驱动,沿所述中梃竖梁(251)做升降活动。
7.根据权利要求1所述的PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,其特征在于,所述固定框架(120)包括上梁(122)、下梁(123)、连接所述上梁(122)与所述下梁(123)的第一竖梁(124)与第二竖梁(125),所述上通入槽(121)贯穿所述上梁(122)开设,所述上梁(122)的下部设置有与所述上通入槽(121)连通的上卡接槽(126),所述下梁(123) 上设置有与所述上卡接槽(126)相配合的下卡接槽(127)。
8.根据权利要求7所述的PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,其特征在于,所述第一竖梁(124)与所述第二竖梁(125)的内壁上均设置有竖直设置的侧导向槽(128)。
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