[实用新型]一种用于硅片加工用石墨舟片

权利要求书

1.一种用于硅片加工用石墨舟片，包括石墨舟片本体(1)，所述石墨舟片本体(1)的前侧开设有多个安装孔(2)，其特征在于，所述安装孔(2)的底部内壁上固定安装有支撑块(3)，支撑块(3)的顶部开设有矩形槽(4)，所述石墨舟片本体(1)的一侧开设有凹槽(5)，多个安装孔(2)均与凹槽(5)相连通，凹槽(5)远离其开口的一侧内壁上转动安装有螺杆(6)，螺杆(6)的一端延伸至石墨舟片本体(1)外并固定安装有旋钮(7)，所述凹槽(5)的顶部内壁上固定安装有多个固定块(8)，多个固定块(8)与多个安装孔(2)一一对应设置，固定块(8)转动套设在螺杆(6)上，螺杆(6)上螺纹套设有多个移动块(9)，移动块(9)位于对应的固定块(8)靠近旋钮(7)的一侧，移动块(9)远离旋钮(7)的一侧顶部固定安装有横杆(10)，固定块(8)滑动套设在对应的横杆(10)上，固定块(8)的底部固定安装有竖杆(11)，竖杆(11)上滑动套设有连接块(12)，连接块(12)的顶部与对应的固定块(8)的底部之间焊接有同一个弹簧(13)，弹簧(13)活动套设在对应的竖杆(11)上，连接块(12)的底部延伸至对应的安装孔(2)内并固定有压块(14)，移动块(9)的底部与对应的连接块(12)靠近旋钮(7)的一侧之间铰接有同一个倾斜设置的连接杆(15)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工用石墨舟片，其特征在于，所述移动块(9)的一侧开有螺纹孔，螺纹孔与螺杆(6)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工用石墨舟片，其特征在于，所述固定块(8)的一侧开设有方孔，方孔的侧壁与对应的横杆(10)的外侧滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工用石墨舟片，其特征在于，所述凹槽(5)远离其开口的一侧内壁焊接有第一轴承，第一轴承的内圈与螺杆(6)的外侧固定套装。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工用石墨舟片，其特征在于，所述固定块(8)的一侧开设有圆形孔，圆形孔内固定套装有第二轴承，第二轴承的内圈与螺杆(6)的外侧固定套装。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工用石墨舟片，其特征在于，所述连接块(12)的顶部开设有方槽，方槽的侧壁与对应的竖杆(11)的外侧滑动连接。