[实用新型]遮挡条和掩膜板组件有效
申请号: | 201921785370.5 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN210894986U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 韩超杰;陈聪;李洋;冉应刚;蔡晓义 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | G03F1/64 | 分类号: | G03F1/64 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 黄鸿华 |
地址: | 516029 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 遮挡 掩膜板 组件 | ||
1.一种遮挡条,所述遮挡条相对的两端分别用于与框架抵接,其特征在于,所述遮挡条相对的两端分别设置有连接结构,所述连接结构用于与所述框架焊接或粘接,所述遮挡条远离所述连接结构的位置开设有套接槽,所述套接槽用于活动套设在框架的定位块上。
2.根据权利要求1所述的遮挡条,其特征在于,所述连接结构为开设于所述遮挡条的多个焊接孔,所述焊接孔用于穿设焊锡。
3.根据权利要求1所述的遮挡条,其特征在于,所述遮挡条上还开设有对位孔,所述对位孔的截面面积小于所述套接槽的截面面积。
4.根据权利要求1所述的遮挡条,其特征在于,所述套接槽的截面形状呈矩形。
5.根据权利要求1所述的遮挡条,其特征在于,所述遮挡条的材料为金属或合金。
6.根据权利要求1所述的遮挡条,其特征在于,所述遮挡条的厚度为20μm~100μm。
7.根据权利要求6所述的遮挡条,其特征在于,所述遮挡条的厚度为30μm~50μm。
8.根据权利要求1所述的遮挡条,其特征在于,所述遮挡条的宽度为2mm~10mm。
9.根据权利要求8所述的遮挡条,其特征在于,所述遮挡条的宽度为3mm~6mm。
10.一种掩膜板组件,包括框架,还包括如权利要求1-9中任一项所述的遮挡条,其特征在于,所述框架开设有蒸镀口,所述框架上设置有定位块,所述遮挡条的两端分别抵接在框架上,所述遮挡条的中部对齐于所述蒸镀口设置,所述连接结构与所述框架焊接,所述套接槽活动套设在框架的定位块上。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备