[实用新型]一种切割单晶硅棒用固定装置

权利要求书

1.一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，包括置于工作台上的支撑件、调节组件和下压组件，所述支撑件和所述调节组件并列置于所述硅棒下方，所述下压组件置于硅棒上方，所述支撑件和所述下压组件对位设置；所述调节组件内嵌于所述支撑件宽度方向两侧，所述调节组件和所述下压组件沿所述支撑件高度方向分别向上和向下移动并与所述硅棒外壁接触；所述支撑件、所述调节组件和所述下压组件均相对于所述硅棒中心轴线对称设置。

2.根据权利要求1所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，所述支撑件上端面为V型结构，所述支撑件上端面中部为水平段；所述支撑件上端面夹角为钝角。

3.根据权利要求2所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，所述支撑件上端面夹角为120°。

4.根据权利要求2或3所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，所述调节组件置于所述支撑件长度方向中部且靠近所述支撑件外侧设置；所述调节组件外侧壁之间宽度大于所述支撑件最大宽度。

5.根据权利要求4所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，所述调节组件包括对位设置的调节块和置于所述调节块下方的第一气缸；所述调节块上端面为倾斜面，相邻所述调节块上端面夹角小于所述支撑件上端面夹角。

6.根据权利要求5所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，相邻所述调节块上端面夹角为90°。

7.根据权利要求6所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，所述调节块置于所述支撑件内部宽度不小于所述调节块宽度的一半。

8.根据权利要求7所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，相邻所述调节块内侧壁之间宽度大于所述支撑件上端面中部水平段宽度。

9.根据权利要求5-8任一项所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，所述下压组件包括框架、置于所述框架下方的下压件和置于所述框架上方且用于控制所述下压件运动的第二气缸；所述下压件宽度大于所述支撑件宽度；所述下压件水平长度不大于所述支撑件水平长度。

10.根据权利要求9所述的一种切割单晶硅棒用固定装置，其特征在于，所述下压件下端面设有向上凸起的凹槽，所述凹槽夹角不小于所述支撑件上端面夹角；在所述凹槽两侧面设有橡胶垫。