[实用新型]一种切割单晶硅棒用固定装置

说明书

本实用新型提供一种切割单晶硅棒用固定装置，包括置于工作台上的支撑件、调节组件和下压组件，所述支撑件和所述调节组件并列置于所述硅棒下方，所述下压组件置于硅棒上方，所述支撑件和所述下压组件对位设置；所述调节组件内嵌于所述支撑件宽度方向两侧，所述调节组件和所述下压组件沿所述支撑件高度方向分别向上和向下移动并与所述硅棒外壁接触；所述支撑件、所述调节组件和所述下压组件均相对于所述硅棒中心轴线对称设置。本实用新型固定装置，适应于不同直径硅棒的固定，可稳定加紧水平放置的硅棒，保证硅棒切割面垂直度，提升加工效率，降低劳动成本。

技术领域

本实用新型属于单晶硅棒切割用辅助装置技术领域，尤其是涉及一种切割单晶硅棒用固定装置。

背景技术

在单晶硅棒切割过程中，由于放置硅棒的支撑装置结构设计不合理，导致支撑装置与硅棒横接触的地方总是有空隙，导致硅棒放置不稳，需人工填充两个对称放置的三角形砌块，以此来支撑硅棒放置的稳定性，但这种方式随着切断机运行的振动，砌块会移动，无法牢固地固定在支撑装置上，进而影响硅棒放置的水平度，使硅棒水平位置出现倾斜，导致切割硅棒的横截面不垂直于硅棒中心轴线，进而影响后续切割硅片质量，使得甩出的不合格废料较多，而且这一结构导致需人员不定期检查砌块位置，严重影响加工效率，也增加员工频繁操作的疲劳度。因此需要设计一种新型的支撑装置实现硅棒的稳定固定，保证硅棒切割垂直度，提升加工效率，降低劳动成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种切割单晶硅棒用固定装置，尤其是适用于单晶硅棒截断机用的固定支撑装置，解决了现有技术中硅棒放置不稳，易倾斜而导致硅棒切割面垂直度不合格的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种切割单晶硅棒用固定装置，包括置于工作台上的支撑件、调节组件和下压组件，所述支撑件和所述调节组件并列置于所述硅棒下方，所述下压组件置于硅棒上方，所述支撑件和所述下压组件对位设置；所述调节组件内嵌于所述支撑件宽度方向两侧，所述调节组件和所述下压组件沿所述支撑件高度方向分别向上和向下移动并与所述硅棒外壁接触；所述支撑件、所述调节组件和所述下压组件均相对于所述硅棒中心轴线对称设置。

进一步的，所述支撑件上端面为V型结构，所述支撑件上端面中部为水平段，所述支撑件上端面夹角为钝角。

进一步的，所述支撑件上端面夹角为120°。

进一步的，所述调节组件置于所述支撑件长度方向中部且靠近所述支撑件外侧设置；所述调节组件外侧壁之间宽度大于所述支撑件最大宽度。

进一步的，所述调节组件包括对位设置的调节块和置于所述调节块下方的第一气缸；所述调节块上端面为倾斜面，相邻所述调节块上端面夹角小于所述支撑件上端面夹角。

进一步的，相邻所述调节块上端面夹角为90°。

进一步的，所述调节块置于所述支撑件内部宽度不小于所述调节块宽度的一半。

进一步的，相邻所述调节块内侧壁之间宽度大于所述支撑件上端面中部水平段宽度。

进一步的，所述下压组件包括框架、置于所述框架下方的下压件和置于所述框架上方且用于控制所述下压件运动的第二气缸；所述下压件宽度大于所述支撑件宽度；所述下压件水平长度不大于所述支撑件水平长度。

进一步的，所述下压件下端面设有向上凸起的凹槽，所述凹槽夹角不小于所述支撑件上端面夹角；在所述凹槽两侧面设有橡胶垫。

采用本实用新型设计的固定装置，适应于不同直径硅棒的固定，可使水平放置的硅棒稳定装夹固定，保证硅棒切割面的垂直度，提升加工效率，降低劳动成本。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的一种切割单晶硅棒用固定装置的结构示意图；