[实用新型]一种中空CVD探针结构

权利要求书

1.一种中空CVD探针结构，其特征在于：包括探测针、微悬臂、微悬臂吸附件、微悬臂吸附夹持件和探针固定座，所述微悬臂吸附件设于探针固定座上，所述微悬臂设于微悬臂吸附件上，所述微悬臂吸附夹持件可滑动卡合与微悬臂和微悬臂吸附件外侧，所述探测针设于微悬臂上，所述微悬臂吸附件包括固定板和真空吸盘，所述真空吸盘设于固定板上，所述固定板上设有定位件，所述定位件包括转动杆和转动条，所述转动条可旋转设于固定板上，所述转动条设于真空吸盘对立面，所述转动杆设于转动条上，所述转动杆与转动条垂直设置，所述微悬臂吸附夹持件为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座设有台阶孔，所述台阶孔包括圆柱孔一和圆柱孔二，所述圆柱孔一与圆柱孔二为十字交叉设置。

2.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述微悬臂吸附夹持件上下壁对称设有弹性挤压件。

3.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述探测针轴线垂直于微悬臂壁面，所述探测针设于真空吸盘对立侧。

4.根据权利要求2所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述弹性挤压件为半圆柱型，所述弹性挤压件的直径逐渐增大。

5.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述转动杆和转动条均为圆柱形，所述转动杆的直径大于转动条的直径。

6.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述探针固定座为中空结构设置的探针固定座。

7.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述圆柱孔一和圆柱孔二的直径均大于转动杆的直径。

8.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述转动杆可旋转设于圆柱孔二内。

9.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述探测针和微悬臂为一体结构，所述探测针和微悬臂为CVD金刚石材质的探测针和微悬臂。

10.根据权利要求2所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述弹性挤压件为橡胶材质的弹性挤压件。