[实用新型]一种中空CVD探针结构

说明书

本实用新型公开了一种中空CVD探针结构，包括探测针、微悬臂、微悬臂吸附件、微悬臂吸附夹持件和探针固定座，所述微悬臂吸附件设于探针固定座上，所述微悬臂设于微悬臂吸附件上，所述微悬臂吸附夹持件可滑动卡合与微悬臂和微悬臂吸附件外侧，所述探测针设于微悬臂上，所述微悬臂吸附件包括固定板和真空吸盘，所述真空吸盘设于固定板上，对微悬臂进行吸附固定，所述微悬臂吸附夹持件为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座设有台阶孔，所述台阶孔包括圆柱孔一和圆柱孔二，所述圆柱孔一与圆柱孔二为十字交叉设置。本实用新型属于磁共振技术领域，具体是指一种结构简单、不易脱针且拆卸方便的中空CVD探针结构。

技术领域

本实用新型属于磁共振技术领域，具体是指一种中空CVD探针结构。

背景技术

原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)已广泛应用于半导体样品测试中，其工作原理是通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件(探针)之间极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。通常来说，探针包括针尖以及微悬臂，微悬臂末端固定于探针座，微悬臂前端的针尖接近样品表面。当针尖与样品表面距离极小时，它们原子之间产生极微弱的吸引或排斥力，从而引起微悬臂发生形变或运动状态发生改变。扫描过程中，带针尖的微悬臂将在垂直于样品表面方向上起伏运动，通过包括反射激光束及其光电检测系统对微悬臂的状态变化进行采集，测得微悬臂状态变化与扫描各点的位置对应关系，从而得到具有原子分子级分辨率的材料表面结构等物化性质，在测试过程中探针脱落将会影响测试进程，需要工作人员暂停机台运行，检测维护原子力显微镜机台，从而极大地增加时间成本。

实用新型内容

为了解决上述难题，本实用新型提供了一种结构简单，不易脱针的CVD金刚石探针结构。

为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种中空CVD探针结构，包括探测针、微悬臂、微悬臂吸附件、微悬臂吸附夹持件和探针固定座，所述微悬臂吸附件设于探针固定座上，所述微悬臂设于微悬臂吸附件上，所述微悬臂吸附夹持件可滑动卡合与微悬臂和微悬臂吸附件外侧，所述探测针设于微悬臂上，所述微悬臂吸附件包括固定板和真空吸盘，所述真空吸盘设于固定板上，对微悬臂进行吸附固定，所述固定板上设有定位件，所述定位件包括转动杆和转动条，所述转动条可旋转设于固定板上，所述转动条设于真空吸盘对立面，所述转动杆设于转动条上，所述转动杆与转动条垂直设置，所述微悬臂吸附夹持件为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座设有台阶孔，所述台阶孔包括圆柱孔一和圆柱孔二，所述圆柱孔一与圆柱孔二为十字交叉设置。

进一步地，所述微悬臂吸附夹持件上下壁对称设有弹性挤压件，便于真空吸盘对微悬臂的吸附固定，快速排出真空吸盘内部空气，使微悬臂固定更为牢固。

进一步地，所述探测针轴线垂直于微悬臂壁面，所述探测针设于真空吸盘对立侧，探测针远离真空吸盘设置且靠近微悬臂端面。

进一步地，所述弹性挤压件为半圆柱型，所述弹性挤压件的直径逐渐增大。

进一步，所述转动杆和转动条均为圆柱形，所述转动杆的直径大于转动条的直径。

进一步地，所述探针固定座为中空结构。

进一步地，所述圆柱孔一和圆柱孔二的直径均大于转动杆的直径。

进一步地，所述转动杆可旋转设于圆柱孔二内。

进一步地，所述探测针和微悬臂为一体结构，所述探测针和微悬臂材质为CVD金刚石的探测针和微悬臂。

进一步地，所述弹性挤压件为橡胶材质的弹性挤压件。