[实用新型]一种乙硼烷尾气处理装置

权利要求书

1.一种乙硼烷尾气处理装置，包括乙硼烷尾气供给单元、脱氧水供给单元、吸收塔、吸收液储槽以及循环泵，所述吸收塔具有靠近其下端的进气口、靠近其上端的进液口以及设于底部的排液口，所述吸收塔的排液口和所述脱氧水供给单元连接所述循环泵的输入端，所述吸收塔的进液口和所述吸收液储槽连接所述循环泵的输出端，其特征在于，还包括惰性气体供给单元和气体混合单元，所述乙硼烷尾气供给单元和所述惰性气体供给单元连接至所述气体混合单元的入口，所述气体混合单元的出口与所述吸收塔的进气口连接。

2.如权利要求1所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述气体混合单元为文丘里真空发生器，所述文丘里真空发生器包括压缩空气供应口、排气口以及真空吸入口，所述乙硼烷尾气供给单元与所述文丘里真空发生器的真空吸入口连接，所述惰性气体供给单元与所述文丘里真空发生器的压缩空气供应口连接，所述文丘里真空发生器的排气口与所述吸收塔的进气口连接。

3.如权利要求1所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述乙硼烷尾气供给单元包括尾气源和尾气缓冲罐，所述尾气源与所述尾气缓冲罐连接，所述尾气缓冲罐与所述气体混合单元连接。

4.如权利要求1所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述乙硼烷尾气供给单元与所述气体混合单元之间设有尾气流量计，所述惰性气体供给单元与所述气体混合单元之间设有惰性气体流量计。

5.如权利要求1所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述气体混合单元与所述吸收塔之间设有阻火器。

6.如权利要求1所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述吸收塔内设有靠近其底部的曝气头，所述曝气头的入口与所述吸收塔的进气口连接。

7.如权利要求1所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述吸收塔内设有靠近其顶部的喷淋头，所述喷淋头的入口与所述吸收塔的进液口连接。

8.如权利要求1所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述吸收塔的排液口与所述循环泵之间设有过滤组件，所述过滤组件包括并联的过滤器。

9.如权利要求1所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述吸收塔的顶部设有放空口。

10.如权利要求9所述的乙硼烷尾气处理装置，其特征在于，所述吸收塔的放空口出口端连接至一阻火器。