[实用新型]一种乙硼烷尾气处理装置

说明书

本实用新型公开了一种乙硼烷尾气处理装置，包括乙硼烷尾气供给单元、脱氧水供给单元、吸收塔、吸收液储槽以及循环泵，吸收塔具有靠近其下端的进气口、靠近其上端的进液口以及设于底部的排液口，吸收塔的排液口和脱氧水供给单元连接循环泵的输入端，吸收塔的进液口和吸收液储槽连接循环泵的输出端，还包括惰性气体供给单元和气体混合单元，乙硼烷尾气供给单元和惰性气体供给单元连接至气体混合单元的入口，气体混合单元的出口与吸收塔的进气口连接。本实用新型公开的乙硼烷尾气处理装置，利用惰性气体对乙硼烷尾气进行稀释，降低与水反应的剧烈程度，尾气处理过程反应易控制。

技术领域

本实用新型涉及气体处理领域，具体涉及一种乙硼烷尾气处理装置。

背景技术

乙硼烷在室温时为气体，有恶臭，极纯的硼烷在干燥空气或氧气中并不能自燃，但如有微量杂质存在，就可立即发生自燃现象。因此制备硼烷时应当隔绝空气。乙硼烷是制备各种其他硼氢化合物的起始原料，可用为有机官能团的强还原剂，用于高纯度单晶硼的制备。在电子工业中乙硼烷作为气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂剂。由于硼和氢这两种元素都具有很高的燃烧热，所以硼氢化物氧化时可产生大量的热，燃烧时放出的热量约同等重量的汽油发热量的两倍，也可作为火箭或导弹使用的一种高能燃料。

由于乙硼烷具有较高的化学活性，容易与各种无机分子和有机分子起反应，因此在其生产、运输、使用及尾气处理过程中要尤为注意，尤其尾气处理时，一旦操作不当则会引起爆炸等潜在危险。

专利CN208911771U中提供了一种乙硼烷的尾气处理装置,能够克服现有尾气处理装置存在的问题，但乙硼烷尾气直接与乙硼烷处理液接触时，反应剧烈，容易失控。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种乙硼烷尾气处理装置，在尾气处理时可先用惰性气体对乙硼烷进行稀释，然后再进行处理，使处理过程变得容易控制，降低安全风险。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种乙硼烷尾气处理装置，包括乙硼烷尾气供给单元、脱氧水供给单元、吸收塔、吸收液储槽以及循环泵，所述吸收塔具有靠近其下端的进气口、靠近其上端的进液口以及设于底部的排液口，所述吸收塔的排液口和所述脱氧水供给单元连接所述循环泵的输入端，所述吸收塔的进液口和所述吸收液储槽连接所述循环泵的输出端，还包括惰性气体供给单元和气体混合单元，所述乙硼烷尾气供给单元和所述惰性气体供给单元连接至所述气体混合单元的入口，所述气体混合单元的出口与所述吸收塔的进气口连接。

进一步的，所述气体混合单元为文丘里真空发生器，所述文丘里真空发生器包括压缩空气供应口、排气口以及真空吸入口，所述乙硼烷尾气供给单元与所述文丘里真空发生器的真空吸入口连接，所述惰性气体供给单元与所述文丘里真空发生器的压缩空气供应口连接，所述文丘里真空发生器的排气口与所述吸收塔的进气口连接。

进一步的，所述乙硼烷尾气供给单元包括尾气源和尾气缓冲罐，所述尾气源与所述尾气缓冲罐连接，所述尾气缓冲罐与所述气体混合单元连接。

进一步的，所述乙硼烷尾气供给单元与所述气体混合单元之间设有尾气流量计，所述惰性气体供给单元与所述气体混合单元之间设有惰性气体流量计。

进一步的，所述气体混合单元与所述吸收塔之间设有阻火器。

进一步的，所述吸收塔内设有靠近其底部的曝气头，所述曝气头的入口与所述吸收塔的进气口连接。

进一步的，所述吸收塔内设有靠近其顶部的喷淋头，所述喷淋头的入口与所述吸收塔的进液口连接。

进一步的，所述吸收塔的排液口与所述循环泵之间设有过滤组件，所述过滤组件包括并联的过滤器。

进一步的，所述吸收塔的顶部设有放空口。

进一步的，所述吸收塔的放空口出口端连接至一阻火器。