[实用新型]扩散炉结构

权利要求书

1.一种扩散炉结构，包括石英管，其特征在于：所述的石英管的一端封闭、另一端敞开，所述的扩散炉结构还包括与所述的石英管敞开一端相连接的密封组件，所述的密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈，所述的第一连接件固定套设在所述的石英管上，所述的第二连接件与所述的第一连接件相连接，所述的第三连接件与所述的第二连接件相连接，所述的第一密封圈同时位于所述的石英管、第一连接件以及第二连接件之间，所述的第二密封圈位于所述的第二连接件、第三连接件之间，所述的第三连接件形成炉门。

2.根据权利要求1所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的密封组件上开设有气体入口、气体出口。

3.根据权利要求2所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的气体入口、气体出口均开设在所述的第二连接件上。

4.根据权利要求1所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件中的至少一个上设置有具有冷却液进口、冷却液出口的冷却液通道。

5.根据权利要求1所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的石英管的直径大于600mm。

6.根据权利要求1所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的第二连接件与所述的石英管不相接触。

7.根据权利要求1或6所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件上朝向所述的第二连接件一侧开设有槽体，所述的第二连接件上朝向所述的第一连接件一侧设置有凸部，所述的第一密封圈位于所述的第一连接件的槽体内，所述的第二连接件的凸部抵紧在所述的第一密封圈上。

8.根据权利要求1所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件为法兰；所述的第一密封圈、第二密封圈为氟胶O型圈。

9.根据权利要求1所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的第一连接件、第二连接件、第三连接件的材质为不锈钢。

10.根据权利要求1所述的扩散炉结构，其特征在于：所述的扩散炉结构还包括加热体，所述的加热体包覆在所述的石英管的外部。