[实用新型]COW片载盘有效

专利信息
申请号: 201921802906.X 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN211602874U 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 郭祖福 申请(专利权)人: 湘能华磊光电股份有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/95
代理公司: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 代理人: 于淼
地址: 423038 湖南省郴*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: cow 片载盘
【权利要求书】:

1.一种COW片载盘,其特征在于,包括外环和具有一个中心通孔的环形连接部,所述外环包围所述环形连接部,且所述外环的内侧面与所述环形连接部的外侧面紧密接触;

所述COW片载盘还包括中心置物盘,所述中心置物盘嵌于所述中心通孔中;所述中心置物盘包括上表面、和上表面相对设置的下表面以及侧面,所述上表面和下表面平行,所述中心置物盘的所述侧面与所述环形连接部的内侧面紧密接触;

在垂直于所述中心置物盘底面的方向上,所述外环、所述环形连接部和所述中心置物盘的底面位于同一水平面,所述外环的高度大于等于所述环形连接部外侧面的高度,所述环形连接部内侧面的高度小于等于所述环形连接部外侧面的高度,所述环形连接部内侧面的高度大于所述中心置物盘的高度。

2.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,在垂直于所述中心置物盘底面的方向上,所述环形连接部内侧面与所述中心置物盘的高度差为H1,H1≥0.1cm。

3.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,所述中心置物盘的直径为R1,6cm≤R1≤10cm。

4.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,在垂直于所述中心置物盘底面的方向上,所述外环的高度为H2,0.4cm≤H2≤0.6cm。

5.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,在平行于所述中心置物盘底面的方向上,所述外环的厚度为D1,0.4cm≤D1≤0.6cm。

6.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,所述外环的直径为R2,15cm≤R2≤25cm。

7.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,所述外环的形状包括圆形和多边形。

8.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,所述中心置物盘的制作材料为透明材料。

9.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,所述外环的制作材料为非透明材料。

10.根据权利要求1所述的一种COW片载盘,其特征在于,所述外环和所述环形连接部采用同一工艺一体成型。

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