[实用新型]一种旋转式芯片喷膜装置有效
申请号: | 201921814965.9 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN210403673U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 林小康 | 申请(专利权)人: | 苏州泰克尼可涂装有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B29C63/02 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 芯片 装置 | ||
本实用新型公布了一种旋转式芯片喷膜装置,包括固定台;所述固定台上设置有门架;所述门架的中间位置设置有液压杆;所述液压杆的底部设置有喷膜压板;所述喷膜压板的下方设置有收卷传输带;所述收卷传输带的下方设置有喷膜转盘,所述收卷传输带设置在喷膜转盘的一侧;所述固定台上设置有旋转电机;所述喷膜转盘安装在旋转电机的输出轴上。本实用新型且结构简单,容易操作。
技术领域
本实用新型涉及芯片生产领域,具体涉及一种旋转式芯片喷膜装置。
背景技术
电子芯片又称微电路、集成电路。是指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分。芯片喷膜是芯片生产工艺中的重要步骤,是一种很先进的技术。但是现有技术多采用传送带传送芯片,在传送带上完成芯片的喷膜,但是这种方法往往效果差,且由于传送带质地柔软,带至喷膜不均匀。
发明内容
针对现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种旋转式芯片喷膜装置,以解决现有技术中存在的喷膜不均匀的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:
一种旋转式芯片喷膜装置,包括固定台;所述固定台上设置有门架;所述门架的中间位置设置有液压杆;所述液压杆的底部设置有喷膜压板;所述喷膜压板的下方设置有收卷传输带;所述收卷传输带的下方设置有喷膜转盘,所述收卷传输带设置在喷膜转盘的一侧;所述固定台上设置有旋转电机;所述喷膜转盘安装在旋转电机的输出轴上。
进一步的,所述收卷传输带上设置有均匀分布的护膜。
进一步的,所述固定台上还设置有支架;所述支架上安装有驱动转轴;所述驱动转轴上安装有收卷驱动滚筒;所述收卷传输带套在收卷驱动滚筒上。
进一步的,所述支架上还安装有驱动电机;所述驱动转轴安装在驱动电机的输出轴上。
进一步的,所述喷膜转盘的上表面均匀分布有芯片卡槽。
进一步的,所述芯片卡槽的中间位置设置有滑动孔;所述滑动孔对应的固定台上还设置有弹簧杆;所述旋转电机的输出轴为弹性装置。
进一步的,所述驱动电机电性连接电源;所述液压杆电性连接电源;所述旋转电机电性连接电源。
进一步的,所述喷膜转盘为金属转盘。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
本实用新型通过在喷膜压板的底部设置喷膜转盘,由于转盘的质地坚硬,喷膜压板可以通过更大的压力压制芯片,防止了喷膜不均匀的问题,同时通过转盘的转动,可以实现一个人就能完成一遍喷膜,一遍回收芯片的操作,提交了喷膜效率和效果,且结构简单,容易操作。
附图说明
图1为本实用新型的结构装置示意图;
图2为本实用新型的收卷传输带和喷膜转盘的俯视图;
图3为本实用新型的喷膜转盘的底部示意图。
附图标记:1-固定台;2-门架;3-液压杆;4-喷膜压板;5-收卷传输带;6-喷膜转盘;7-旋转电机;8-护膜;9-支架;10-收卷驱动滚筒;11-芯片卡槽;12-滑动孔;13-弹簧杆。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的,技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图通过具体实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造