[实用新型]电镜样品杆真空保存装置有效
申请号: | 201921815013.9 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN210894169U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 姚莉;顾斌宾;朱玉宝 | 申请(专利权)人: | 苏州优波光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N23/02 | 分类号: | G01N23/02;G01N23/20025;G01L21/00;H01J37/20 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 刘宁 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品 真空 保存 装置 | ||
1.一种电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,包括:
抽真空组件,包括真空泵;及
至少两个样品杆储存组件,所述样品杆储存组件包括样品杆存储管、电磁阀及放气阀,所述样品杆存储管的两端分别设有插口及通气口,所述电磁阀连接所述真空泵及所述样品杆存储管的通气口,所述电磁阀用于控制所述真空泵与所述样品杆存储管的通气口连通或断开;所述放气阀连接所述样品杆存储管的通气口,所述放气阀用控制所述样品杆存储管的通气口与外界空气连通或断开。
2.根据权利要求1所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,还包括控制器,所述控制器电连接真空泵、电磁阀及放气阀。
3.根据权利要求2所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,还包括电源,所述电源电连接所述控制器。
4.根据权利要求2所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,所述样品杆储存组件还包括触动开关,所述触动开关电连接控制器,所述触动开关用于判断所述样品杆存储管内是否插入有样品杆。
5.根据权利要求4所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,所述触动开关设于所述样品杆存储管设有插口的一端侧。
6.根据权利要求1所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,所述抽真空组件还包括预抽泵及隔断阀,所述隔断阀连接所述真空泵的出气端及所述预抽泵的进气端,所述隔断阀用于控制所述真空泵与所述预抽泵连通或断开。
7.根据权利要求1所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,所述抽真空组件还包括真空计,所述真空计连接在所述真空泵与各所述样品杆储存组件的所述电磁阀相连的管路上。
8.根据权利要求7所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,所述抽真空组件还包括多通管,所述多通管设有第一接口、第二接口及至少两个第三接口,所述第一接口连接所述真空泵,所述第二接口连接所述真空计,所述第三接口分别连接所述电磁阀。
9.根据权利要求8所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,所述样品杆储存组件的数量为三个,三个所述样品杆储存组件并列间隔设置,所述多通管为五通管,所述第三接口的数量为三个,三个所述第三接口间隔设于所述多通管的一侧,所述第一接口与所述第二接口间隔设于所述多通管远离所述第三接口的一侧。
10.根据权利要求1所述的电镜样品杆真空保存装置,其特征在于,所述样品杆储存组件还包括空气过滤器,所述空气过滤器连接所述放气阀及用于连通外界空气。
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