[实用新型]电镜样品杆真空保存装置

说明书

本实用新型涉及一种电镜样品杆真空保存装置，包括：抽真空组件，包括真空泵；及至少两个样品杆储存组件，样品杆储存组件包括样品杆存储管、电磁阀及放气阀，样品杆存储管的两端分别设有插口及通气口，电磁阀连接真空泵及样品杆存储管的通气口，电磁阀用于控制真空泵与样品杆存储管的通气口连通或断开；放气阀连接样品杆存储管的通气口，放气阀用控制样品杆存储管的通气口与外界空气连通或断开。上述电镜样品杆真空保存装置，每个样品杆储存组件的样品杆存储管由独立的电磁阀及放气阀控制，从而对某根样品杆进行存取时，只需打开或关闭该样品杆存储管所对应的电磁阀及放气阀即可，不影响其他样品杆存储管内的样品杆的真空存储状态。

技术领域

本实用新型涉及透射电子显微镜真空配件技术领域，特别是涉及一种电镜样品杆真空保存装置。

背景技术

电镜样品杆真空保存装置是透射电子显微镜重要的配套设备。透射电子显微镜可以直接在原子尺度表征材料的结构和成分。样品在透射电镜中观察时，会受到强电子束流密度照射，样品表面的碳氢污染物及样品杆本身在高电流密度轰击下分解，从而影响样品原子尺度的观察，因此透射电镜样品杆在电镜外未使用状态下，应保存在透射电镜样品杆真空泵站系统中处于真空状态，以防止碳氢化合物污染，并加快样品更换过程。

传统透射电镜样品杆保存泵站，所有样品杆保存管道统一开启、关闭，在存取出单一样品杆时，其他未取出样品杆也同时暴露于空气中，容易造成其他未取出样品杆上的样品受到空气中碳氢化合物的污染。

实用新型内容

基于此，有必要针对目前传统技术的问题，提供一种电镜样品杆真空保存装置。

一种电镜样品杆真空保存装置，包括：

抽真空组件，包括真空泵；及

至少两个样品杆储存组件，所述样品杆储存组件包括样品杆存储管、电磁阀及放气阀，所述样品杆存储管的两端分别设有插口及通气口，所述电磁阀连接所述真空泵及所述样品杆存储管的通气口，所述电磁阀用于控制所述真空泵与所述样品杆存储管的通气口连通或断开；所述放气阀连接所述样品杆存储管的通气口，所述放气阀用控制所述样品杆存储管的通气口与外界空气连通或断开。

上述电镜样品杆真空保存装置，每个样品杆储存组件的样品杆存储管由独立的电磁阀及放气阀控制，从而对某根样品杆进行存取时，只需打开或关闭该样品杆存储管所对应的电磁阀及放气阀即可，不影响其他样品杆存储管内的样品杆的真空存储状态，有效避免在存取出单一样品杆时，其他未取出样品杆也同时暴露于空气中，有效防止其他未取出样品杆上的样品受到空气中碳氢化合物的污染。而且，当有部分样品杆存储管未插样品杆，关闭该样品杆存储管对应的电磁阀，并不会影响到其他插有样品杆的样品杆存储管的封闭性。

在其中一个实施例中，还包括控制器，所述控制器电连接真空泵、电磁阀及放气阀。

在其中一个实施例中，还包括电源，所述电源电连接所述控制器。

在其中一个实施例中，所述样品杆储存组件还包括触动开关，所述触动开关电连接控制器，所述触动开关用于判断所述样品杆存储管内是否插入有样品杆。

在其中一个实施例中，所述触动开关设于所述样品杆存储管设有插口的一端侧。

在其中一个实施例中，所述抽真空组件还包括预抽泵及隔断阀，所述隔断阀连接所述真空泵的出气端及所述预抽泵的进气端，所述隔断阀用于控制所述真空泵与所述预抽泵连通或断开。

在其中一个实施例中，所述抽真空组件还包括真空计，所述真空计连接在所述真空泵与各所述样品杆储存组件的所述电磁阀相连的管路上。

在其中一个实施例中，所述抽真空组件还包括多通管，所述多通管设有第一接口、第二接口及至少两个第三接口，所述第一接口连接所述真空泵，所述第二接口连接所述真空计，所述第三接口分别连接所述电磁阀。