[实用新型]一种半导体设备移动支撑装置

说明书

本实用新型属于半导体设备技术领域，具体涉及一种半导体设备移动支撑装置；其主体结构包括支撑板、滚轮和滑动块；所述支撑板底部设置有滚轮；支撑板上方一侧开设有与滑动块配合使用的滑槽；所述滑动块包括两个，均与支撑板通过第一定位销连接；支撑板上方另一侧开设有若干个第一定位孔；所述每个滑动块靠近第一定位孔的一侧均固定连接有L型挡板；两个L型挡板对称设置；本实用新型通过在支撑板上设置滑槽，使得滑动块能够带动挡板在滑槽中移动，以调整两挡板之间的距离，以及若干个第一定位孔的配合设置，使本实用新型在方便移动的基础上，能够保证半导体设备的稳固性，并能够适用于不同规格的半导体设备，提高安全性能，操作灵活方便。

技术领域

本实用新型属于半导体设备技术领域，具体涉及一种半导体设备移动支撑装置。

背景技术

半导体设备通常会被放置在净化室中，但半导体设备种类繁多，且半导体设备重量较重，不方便移动，中国专利CN201721845059.6公开了一种半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板、滚珠法兰和滚珠组成。所述的滚珠与滚珠法兰相连；所述的支撑平板与多个滚珠法兰相连。支撑平板一面与多个滚珠法兰相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠放入滚珠法兰内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰和支撑平板之间。根据需移动设备重量不同，可增加或减少支撑平板上固定的滚珠数量。本实用新型优点：设备结构简单，易于安装，灵活小巧，可承载较重的半导体设备。但是当移动支撑装置快速移动时，半导体设备的稳固性难以保证，因此，有必要设计一种方便移动，且能加对强半导体设备稳固性的移动支撑装置。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于克服现有技术存在的缺点，提出设计一种半导体设备移动支撑装置。

本实用新型涉及的一种半导体设备移动支撑装置，其主体结构包括支撑板、滚轮和滑动块；所述支撑板底部设置有滚轮；支撑板上方一侧开设有与滑动块配合使用的滑槽；所述滑动块包括两个，均与支撑板通过第一定位销连接；支撑板上方另一侧开设有若干个第一定位孔；所述每个滑动块靠近第一定位孔的一侧均固定连接有L型挡板；两个L型挡板对称设置。

优选的，所述的滑动块为工字型结构，包括一体成型的底板、连接板和顶板；所述滑槽内部两侧开设有与底板匹配使用的凹槽；连接板位于滑槽内，连接板的高度与滑槽的高度相同，顶板位于支撑板上方，与挡板固定连接；本实施例的结构设置使得滑动块恰好能够在和滑槽中滑动。

优选的，所述的挡板上设置有固定板；所述固定板和所述顶板上均开设有通孔，所述两个通孔同轴设置；所述支撑板上设置有若干个与所述两个通孔匹配使用的第二定位孔；所述第一定位销依次穿过两个通孔置于第二定位孔内，从而将滑动块的位置固定。

优选的，所述的两个通孔及第二定位孔均带有内螺纹，所述第一定位销带有与内螺纹匹配的外螺纹，增加滑动块的稳定性。

优选的，所述的挡板上端均为弧形结构，以防止对半导体设备造成剐蹭等损坏。

优选的，所述的第一定位孔内内置有第二定位销。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：本实用新型通过在支撑板上设置滑槽，使得滑动块能够带动挡板在滑槽中移动，以调整两挡板之间的距离，以及若干个第一定位孔的配合设置，使本实用新型在方便移动的基础上，能够保证半导体设备的稳固性，并能够适用于不同规格的半导体设备，提高安全性能，操作灵活方便。

附图说明

图1为本实用新型整体结构原理示意图；

图2为本实用新型A部结构放大图；

图3为本实用新型滑动块结构放大图；

其中，支撑板1、滚轮2、滑动块3、滑槽4、第一定位销5、第一定位孔6、挡板7、凹槽8、固定板9、通孔10、第二定位孔11、第二定位销12、底板301、连接板302、顶板303。