[实用新型]一种微位移放大装置有效
申请号: | 201921818366.4 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN210692509U | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 傅雨晨;范伟;金花雪;王寅;占炜;杨建红 | 申请(专利权)人: | 华侨大学 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H02N2/00 |
代理公司: | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人: | 郭若山 |
地址: | 362000 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 位移 放大 装置 | ||
1.一种微位移放大装置,其特征在于,包括位于同一平面上的支撑件和压电件,所述压电件包括转向块、两组三角组件和两组以上依次串联的杠杆组件;
所述三角组件包括三角输入块和三角输出块,所述三角输入块具有中间部以及两个分别与所述中间部一体连接且以所述中间部为中心相互对称布置的连接部,在同一所述三角组件中,所述三角输出块有两个,两个所述三角输出块以所述中间部为中心相互对称布置,且两个所述三角输出块的一端分别柔性铰接在对应的所述连接部上,其中一个所述三角输出块未与所述连接部连接的一端柔性铰接在所述支撑件上,另一个所述三角输出块未与所述连接部连接的一端柔性铰接在所述转向块上,且所述三角输出块两端的铰接点相互错位布置,两组所述三角组件相互对称布置,且两组所述三角组件的所述中间部之间形成用于放置压电陶瓷驱动器的驱动空间;
所述杠杆组件包括一端与所述支撑件柔性铰接的第一杆件以及一端柔性铰接在所述第一杆件中部位置的第二杆件,所述第一杆件未与所述支撑件连接的一端形成杠杆输出端,所述第二杆件未与所述第一杆件连接的一端形成杠杆输入端,相邻两个所述杠杆组件中,靠近首端的所述杠杆组件的杠杆输出端柔性铰接在另一所述杠杆组件的杠杆输入端上,且位于首端的所述杠杆组件的杠杆输入端柔性铰接在所述转向块上。
2.如权利要求1所述的微位移放大装置,其特征在于,所述转向块与对应的所述杠杆组件之间的铰接点位于两组所述三角组件的对称中心线上。
3.如权利要求1所述的微位移放大装置,其特征在于,所述第一杆件与所述支撑件的铰接点以及该第一杆件与对应的所述第二杆件之间的铰接点位于该第一杆件的同一侧。
4.如权利要求1所述的微位移放大装置,其特征在于,上述各柔性铰接都是通过柔性铰链进行铰接。
5.如权利要求4所述的微位移放大装置,其特征在于,所述第一杆件与所述支撑件之间的柔性铰链为直梁型铰链,其他柔性铰链都为直圆型铰链。
6.如权利要求1-5中任一权利要求所述的微位移放大装置,其特征在于,所述支撑件上开设有定位孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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