[实用新型]一种微位移放大装置

说明书

本实用新型提供一种微位移放大装置，包括支撑件和压电件，所述压电件包括转向块、两组三角组件和杠杆组件；所述三角组件包括三角输入块和三角输出块，所述三角输入块具有中间部以及两个连接部，在同一所述三角组件中，所述三角输出块有两个，两个所述三角输出块的一端分别柔性铰接在对应的所述连接部上，其中一个所述三角输出块未与所述连接部连接的一端柔性铰接在所述支撑件上，另一个所述三角输出块未与所述连接部连接的一端柔性铰接在所述转向块上；所述杠杆组件包括第一杆件以及第二杆件。通过设置三角组件，在实现位移放大的同时可以改变位移的方向，能够应用的测试平台相对较广，同时通过设置非对称结构的杠杆组件，放大倍数相对较大。

技术领域

本实用新型涉及一种放大装置，尤其是一种微位移放大装置。

背景技术

近年来，随着微电子技术的发展，压电陶瓷以其优越的精密驱动和定位性能而被广泛的应用于微位移驱动和精密定位领域，但是由于其微米级的位移输出往往不能满足实际应用的需求，一般需要设计位移放大装置对其进行位移放大。

公开号为CN104900573B的中国发明专利是本申请人早期设计的一种对称式差动杠杆微位移放大装置，包括底座、固定在所述底座上的基板和与所述基板位于同一平面上的压电块，所述压电块具有一个顶压部和两个分别位于所述顶压部两端且以所述顶压部的中垂线为中心对称放置的传动部，两个所述传动部分别连接有一组与所述基板位于同一平面上的杠杆组件，且两组所述杠杆组件以所述顶压部的中垂线为中心对称放置，两所述传动部之间放置有抵顶在所述顶压部上的压电陶瓷驱动器；该微位移装置通过设置杠杆组件，利用差动杠杆放大的原理，实现较大的位移放大倍数，具有较大的行程，同时由于采用了柔性铰接的方式进行连接，各杆件之间的间隙和摩擦力较小，能降低误差，精度较高。然而，该微位移放大装置中，压电陶瓷驱动器的位移方向与放大的位移方向相同，导致整个装置的而体积相对较大，能够应用的测试平台较为有限；此外，该微位移放大装置虽然能够利用差动杠杆实现较大的位移放大倍数，然而其只能进行一次差动杠杆放大，位移放大倍数仍然较为有限。

有鉴于此，本实用新型人对微位移放大装置进行了深入的研究，遂有本案产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够应用的测试平台相对较广且放大倍数相对较大的微位移放大装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种微位移放大装置，包括位于同一平面上的支撑件和压电件，所述压电件包括转向块、两组三角组件和两组以上依次串联的杠杆组件；

所述三角组件包括三角输入块和三角输出块，所述三角输入块具有中间部以及两个分别与所述中间部一体连接且以所述中间部为中心相互对称布置的连接部，在同一所述三角组件中，所述三角输出块有两个，两个所述三角输出块以所述中间部为中心相互对称布置，且两个所述三角输出块的一端分别柔性铰接在对应的所述连接部上，其中一个所述三角输出块未与所述连接部连接的一端柔性铰接在所述支撑件上，另一个所述三角输出块未与所述连接部连接的一端柔性铰接在所述转向块上，且所述三角输出块两端的铰接点相互错位布置，两组所述三角组件相互对称布置，且两组所述三角组件的所述中间部之间形成用于放置压电陶瓷驱动器的驱动空间；

所述杠杆组件包括一端与所述支撑件柔性铰接的第一杆件以及一端柔性铰接在所述第一杆件中部位置的第二杆件，所述第一杆件未与所述支撑件连接的一端形成杠杆输出端，所述第二杆件未与所述第一杆件连接的一端形成杠杆输入端，相邻两个所述杠杆组件中，靠近首端的所述杠杆组件的杠杆输出端柔性铰接在另一所述杠杆组件的杠杆输入端上，且位于首端的所述杠杆组件的杠杆输入端柔性铰接在所述转向块上。

作为本实用新型的一种改进，所述转向块与对应的所述杠杆组件之间的铰接点位于两组所述三角组件的对称中心线上。

作为本实用新型的一种改进，所述第一杆件与所述支撑件的铰接点以及该第一杆件与对应的所述第二杆件之间的铰接点位于该第一杆件的同一侧。