[实用新型]一种固晶机图像识别系统有效
申请号: | 201921819125.1 | 申请日: | 2019-10-24 |
公开(公告)号: | CN210378987U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 蔡龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市泰斯特光电设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市正德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44548 | 代理人: | 袁文毅 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观湖*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 固晶机 图像 识别 系统 | ||
1.一种固晶机图像识别系统,包括可调节滑台(1)和与可调节滑台(1)相配合的滑块(2),所述滑块(2)与可调节滑台(1)内部滑动连接,其特征在于:所述滑块(2)顶部安装有用于精准定位的精准调节组件(3)。
2.根据权利要求1所述的一种固晶机图像识别系统,其特征在于:所述精准调节组件(3)包括调节块(4)和调节件(5),所述调节块(4)固定在滑块(2)顶部,且调节块(4)顶部开有调节槽(6),所述调节槽(6)内均设有丝杆(7),且丝杆(7)与调节槽(6)两侧内部转动连接,所述丝杆(7)外侧螺纹连接有与调节槽(6)相配合的移动块(8),且移动块(8)顶部固定有晶机相机(9),所述调节件(5)安装在调节块(4)一端,并与丝杆(7)固定。
3.根据权利要求2所述的一种固晶机图像识别系统,其特征在于:所述调节件(5)包括传动齿轮(10)、调节齿轮(11)和固定板(12),所述传动齿轮(10)设有两个,且分别固定在两个丝杆(7)一端外侧,所述调节齿轮(11)与两个传动齿轮(10)啮合,且调节齿轮(11)内固定有调节杆(13),所述调节杆(13)通过轴承与固定板(12)转动连接,且固定板(12)固定在调节块(4)一端顶部。
4.根据权利要求3所述的一种固晶机图像识别系统,其特征在于:所述调节杆(13)远离固定板(12)一端固定有转帽(14)。
5.根据权利要求4所述的一种固晶机图像识别系统,其特征在于:所述转帽(14)外侧刻有防滑纹。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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