[实用新型]硅片冷却设备

权利要求书

1.一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具(100)，其特征在于：还包括冷却机构(200)和传送机构(300)，所述冷却机构(200)包括机箱(210)和吹风组件(220)，所述吹风组件(220)设于所述机箱(210)内，所述载具(100)经由所述传送机构(300)送入所述机箱(210)，所述吹风组件(220)向进入所述机箱(210)的所述载具(100)吹风，以冷却所述载具(100)内的所述硅片。

2.如权利要求1所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述吹风组件(220)包括多个通风管(221)，所述通风管(221)上开设有多个气孔(222)，所述通风管(221)连通供气设备，所述供气设备向所述通风管(221)供气，气流通过所述气孔(222)吹出。

3.如权利要求1所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送机构(300)包括传送驱动组件(310)和传送中转组件(320)，所述载具(100)置于所述传送中转组件(320)上，所述传送驱动组件(310)连接并驱动所述传送中转组件(320)进出所述机箱(210)。

4.如权利要求3所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送驱动组件(310)包括传送驱动件(311)和传送导向件(312)，所述传送导向件(312)朝向所述机箱(210)设置，所述传送中转组件(320)与所述传送导向件(312)滑动连接，所述传送驱动件(311)连接并驱动所述传送中转组件(320)沿所述传送导向件(312)运动。

5.如权利要求4所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送驱动件(311)包括电机和设于所述电机输出端的齿轮，所述传送中转组件(320)包括与所述齿轮啮合的齿条(321)和与所述传送导向件(312)滑动连接的随动件(322)，所述随动件(322)连接所述齿条(321)，所述齿条(321)平行于所述传送导向件(312)，所述载具(100)设于所述齿条(321)上，所述电机驱动所述齿轮旋转，所述齿轮带动所述齿条(321)及所述随动件(322)沿所述传送导向件(312)运动。

6.如权利要求5所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送导向件(312)包括两根相对、平行设置的导向条，所述随动件(322)包括两组滚轮，一组所述滚轮对应滑动设置于一根所述导向条上，两组所述滚轮设于所述齿条(321)相对的两侧，使得所述齿条(321)挂于两根所述导向条之间。

7.如权利要求6所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述齿条(321)下方设有挂钩(140)，所述载具(100)上设有挂具(130)，所述挂具(130)能够套入所述挂钩(140)，使得所述载具(100)悬挂于所述齿条(321)下方。

8.如权利要求7所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送驱动组件(310)还包括限定所述载具(100)远离所述齿条(321)一侧的传送限位件(330)，所述传送限位件(330)包括两根相对、平行设置的限位条(331)，所述限位条(331)平行于所述传送导向件(312)，所述载具(100)上设有卡设于两根所述限位条(331)间的随动器(332)，所述随动器(332)能够沿所述限位条(331)运动。

9.如权利要求5所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送驱动组件(310)包括至少两组所述传送驱动件(311)，两组所述传送驱动件(311)分别设置在所述传送导向(312)件延伸方向的两端。

10.如权利要求3-9任一项所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述机箱(210)中设置有多组所述传送驱动组件(310)，多组所述传送驱动组件(310)顺次连接、贯穿所述机箱(210)，所述传送中转组件(320)携带所述载具(100)经由多组所述传送驱动组件(310)顺次传送，穿过所述机箱(210)。