[实用新型]硅片冷却设备

说明书

本申请公开了一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具、冷却机构和传送机构，冷却机构包括机箱和吹风组件，吹风组件设于机箱内，载具经由传送机构送入机箱，吹风组件向进入机箱的载具吹风，以冷却载具内的硅片。本申请通过传送机构主动将载有硅片载具的送入冷却机构的机箱，在机箱中设有吹风组件，由吹风组件对硅片吹风进行冷却，冷却后，又由传送机构主动将载具转移出来，从而实现高效、自动化的冷却。

技术领域

本申请涉及硅片制备设备技术领域，具体为一种用于冷却硅片的设备。

背景技术

硅片，也称为电池片，是太阳能设备的重要组合部分，实际使用时，硅片用于吸取光照的能量并将之转化为电能。为了提高硅片的吸收和转化能力，需要对硅片进行工艺处理。该工艺后，硅片会呈高温状态，需要对硅片进行降温。传统设备中，多由人工取出载有硅片的载具并将之送入冷却设备中，由冷却设备集中对载具进行降温，再通过人工取出载具，效率低。

发明内容

本申请的目的在于提供一种高效冷却硅片的自动化设备。

为了实现上述技术目的，本申请的技术方案具体如下：

一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具、冷却机构和传送机构，冷却机构包括机箱和吹风组件，吹风组件设于机箱内，载具经由传送机构送入机箱，吹风组件向进入机箱的载具吹风，以冷却载具内的硅片。

进一步地，吹风组件包括多个通风管，各通风管上均开设有多个气孔，通风管连通供气设备，供气设备向通风管供气，气流通过气孔吹出。

进一步地，传送机构包括传送驱动组件和传送中转组件，载具置于传送中转组件上，传送驱动组件连接并驱动传送中转组件进出机箱。

进一步地，传送驱动组件包括传送驱动件和传送导向件，传送导向件朝向机箱设置，传送中转组件与传送导向件滑动连接，传送驱动件连接并驱动传送中转组件沿传送导向件运动。

进一步地，传送驱动件包括电机和设于电机输出端的齿轮，传送中转组件包括与齿轮啮合的齿条和与传送导向件滑动连接的随动件，随动件连接齿条，齿条平行于传送导向件，载具设于齿条上，电机驱动齿轮旋转，齿轮带动齿条及随动件沿传送导向件运动。

进一步地，传送导向件包括两根相对、平行设置的导向条，随动件包括两组滚轮，一组滚轮对应滑动设置于一根导向条上，两组滚轮设于齿条相对的两侧，使得齿条挂于两根导向条之间。

进一步地，齿条下方设有挂钩，载具上设有挂具，挂具能够套入挂钩，使得载具悬挂于齿条下方。

进一步地，传送驱动组件还包括限定载具远离齿条一侧的传送限位件，传送限位件包括两根相对、平行设置的限位条，限位条平行于传送导向件，载具上设有卡设于两根限位条间的随动器，随动器能够沿限位条运动。

进一步地，传送驱动组件包括至少两组传送驱动件，两组传送驱动件分别设置在传送导向件延伸方向的两端。

进一步地，机箱中设置有多组传送驱动组件，多组传送驱动组件顺次连接、贯穿机箱，传送中转组件携带载具经由多组传送驱动组件顺次传送，穿过机箱。

相较于现有技术，本申请通过传送机构主动将载有硅片载具的送入冷却机构的机箱，在机箱中设有吹风组件，由吹风组件对硅片吹风进行冷却，冷却后，又由传送机构主动将载具转移出来，从而实现高效、自动化的冷却。

附图说明

图1是本申请载具的结构示意图；

图2是本申请一实施例的结构示意图。