[实用新型]一种自动配料的气相沉积装置

说明书

一种自动配料的气相沉积装置，属于材料制备和化学合成技术领域，包括温控机构、反应箱、试剂箱和减压组件；所述反应箱下端面设置有温控机构，所述反应箱上端面设置有试剂箱，所述试剂箱一侧设置有减压机构，所述减压机构固设于反应箱上端面，且所述反应箱内部中空设置有反应腔，所述反应腔内部设置有基底物和气化箱，所述气化箱上端面开设有气化腔，且所述气化箱上侧设置有调节机构，所述调节机构将试剂箱和气化箱彼此相连通；本实用新型结构简单，布局紧凑，其中，通过温控机构和减压组件有效实现气相沉积的控制，同时，通过第一比例块和第二比例块实现不同剂量的反应物输出，且适用于多种反应物的不同剂量输出，具备较强的适用性。

技术领域

本实用属于材料制备和化学合成技术领域，特别涉及一种自动配料的气相沉积装置。

背景技术

随着科学技术的飞速发展，材料性能及其制备工艺成为制约制造业进一步发展的关键因素。复合材料具有单一材料所不可比拟的优点而成为材料科学新的研究热点。复合材料的制备方法多种多样，按照物质反应形态可分为气相法、液相法和固相法。相比于液相法和固相法，气相法由于反应条件温和、反应过程可控、反应产物均匀等优点而被广泛采用。

现有的气相沉积装置在添加反应物的时候通过人工控制注入剂量，且在面临多种反应物的时候，先将多种反应物混合，然后在进行气相沉积，对于不同反应物的剂量只能通过事先人工进行计量。

实用新型内容

本实用的目的在于克服上述提到的缺陷和不足，而提供一种自动配料的气相沉积装置。

为了解决上述技术问题，采用如下技术方案：

一种自动配料的气相沉积装置，包括温控机构、反应箱、试剂箱和减压组件；所述反应箱下端面设置有温控机构，所述反应箱上端面设置有试剂箱，所述试剂箱一侧设置有减压组件，其中，所述试剂箱内部固定设置有隔板，将所述试剂箱内部分隔成两部分，且对应的试剂箱内部连通设置有试剂入口端，所述减压组件固设于反应箱上端面，且所述反应箱内部中空设置有反应腔，所述反应腔内部设置有基底物和气化箱，所述气化箱上端面开设有气化腔，且所述气化箱上侧设置有调节机构，所述调节机构将试剂箱和气化箱彼此相连通。

作为优选，所述温控机构包括温度传感器和加热设备，所述温度传感器和加热设备信号连接，所述加热设备为具备温控系统的常规加热设备。

作为优选，所述减压组件包括真空泵和检测表；所述真空泵输出端软件连接有连接管，所述连接管贯穿设置于反应箱上端，且所述连接管上固设有真空阀，所述检测表和反应腔相连通。

作为优选，所述调节机构包括调节箱，所述调节箱内部中空设置有第一腔体，所述第一腔体右端壁内部设置有第二腔体，且所述第一腔体内部滑动设置有第一比例块，所述第二腔体内部设置有第二比例块，且所述第二腔体内部上侧固定设置有挡销，所述调节箱左端壁连接有第一管道，所述第一管道一端和第一腔体相连通，另一端和试剂箱内部相连通，且所述第一管道下侧设置有第二管道，所述第二管道一端和第一腔体相连通，另一端伸入气化腔内部，且所述调节箱右端壁连接有第三管道，所述第三管道一端和第一腔体相连通，另一端和试剂箱内部相连通，且所述第三管道上侧设置有第四管道，所述第四管道一端和第一腔体相连通，另一端伸入气化腔内部。

作为优选，所述第二比例块选用密度较小的物质，具备较好的浮力，其中，所述第二比例块下端面开设有第一半球槽，且所述第二比例块内部中空设置有转动槽，所述转动槽和所述第一半球槽相连通，且所述转动槽内部设置有伸缩机构，所述伸缩机构的下端固定设置于第二腔体的下端壁。

作为优选，所述伸缩机构包括第一连杆，所述第一连杆转动设置于转动槽内，且所述第一连杆的下端面固定连接有滑动杆，所述滑动杆滑动连接有第二连杆，所述第二连杆的下端转动设置有固定块，所述固定块下端面和第二腔体的下端壁固定连接。