[实用新型]一种硅片生产用底板丝杆移动底座

权利要求书

1.一种硅片生产用底板丝杆移动底座，包括箱体（1）、丝杆（2）和底板（3），所述丝杆（2）通过安装板转动连接于箱体（1）内，所述底板（3）固定安装于箱体（1）底部设置，其特征在于，所述箱体（1）的外侧壁固定连接有横板（4），所述横板（4）上通过连接柱固定安装有伺服电机（5），所述伺服电机（5）的输出端固定连接有转动杆（6），所述转动杆（6）贯穿箱体（1）设置并延伸至其内部，所述转动杆（6）与丝杆（2）之间固定连接，所述转动杆（6）位于箱体（1）外的部分和横板（4）上设有同一个清屑机构，所述丝杆（2）上螺纹连接有安装块（7），所述安装块（7）的上端固定安装有T型板（8），所述底板（3）内设有用于伺服电机（5）降温的冷却机构，所述冷却机构的一端与安装块（7）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述清屑机构包括固定连接于横板（4）上端的安装管（9），所述转动杆（6）转动贯穿安装管（9）设置，所述转动杆（6）位于安装管（9）内的部分同轴固定连接有风叶（10），所述安装管（9）连通有第一连接管（11）和第二连接管（12），所述第一连接管（11）的出气端位于箱体（1）的上端，所述第二连接管（12）的出气端位于转动杆（6）的正上方设置。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述安装管（9）靠近伺服电机（5）的一侧设有进气孔（13）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述冷却机构包括设于底板（3）上端的滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块（14），所述滑块（14）的上端与安装块（7）的下端固定连接，所述滑块（14）靠近伺服电机（5）的一侧设有第一弹性气囊（15），所述第一弹性气囊（15）连通有第一波纹管（16），所述第一波纹管（16）的出气端位于伺服电机（5）的正下方设置，所述滑槽远离伺服电机（5）的一侧内设有组件除屑组件。

5.根据权利要求4所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述除屑组件包括设于滑槽内的第二弹性气囊（17），所述第二弹性气囊（17）连通有第二波纹管（18），所述第二波纹管（18）的出气端位于丝杆（2）的正上方设置。

6.根据权利要求5所述的一种硅片生产用底板丝杆移动底座，其特征在于，所述第二波纹管（18）的出气端内安装有过滤网（19）。