[实用新型]一种硅片生产用底板丝杆移动底座

说明书

本实用新型公开了一种硅片生产用底板丝杆移动底座，包括箱体、丝杆和底板，所述丝杆通过安装板转动连接于箱体内，所述底板固定安装于箱体底部设置，所述箱体的外侧壁固定连接有横板，所述横板上通过连接柱固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆贯穿箱体设置并延伸至其内部，所述转动杆与丝杆之间固定连接，所述转动杆位于箱体外的部分和横板上设有同一个清屑机构，所述丝杆上螺纹连接有安装块，所述底板内设有用于伺服电机降温的冷却机构。本实用新型通过冷却机构、清屑机构和除屑组件的配合，实现硅片生产中产生的碎屑进行清理，以及对驱动设备的冷却降温，延长了驱动设备的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及移动底座技术领域，尤其涉及一种硅片生产用底板丝杆移动底座。

背景技术

在硅片的制造过程中，需要对硅片涂覆扩散层，需要经过多道工艺，因此就需要将硅片固定在可以移动的底座上以便进行生产，现如今的人工从传送带上取出再进行生产，导致硅片成本高、效率低。

现有的滑轨丝杆移动底座设备，硅片制造过程中会产生的碎屑，如若不及时清除，会影响到硅片的进一步加工，而且驱动滑轨丝杆的驱动设备在长时间的运作下，温度过高，极易损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片生产用底板丝杆移动底座。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片生产用底板丝杆移动底座，包括箱体、丝杆和底板，所述丝杆通过安装板转动连接于箱体内，所述底板固定安装于箱体底部设置，所述箱体的外侧壁固定连接有横板，所述横板上通过连接柱固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆贯穿箱体设置并延伸至其内部，所述转动杆与丝杆之间固定连接，所述转动杆位于箱体外的部分和横板上设有同一个清屑机构，所述丝杆上螺纹连接有安装块，所述安装块的上端固定安装有T型板，所述底板内设有用于伺服电机降温的冷却机构，所述冷却机构的一端与安装块固定连接，实现了对生产中碎屑的清理和驱动设备的降温。

优选地，所述清屑机构包括固定连接于横板上端的安装管，所述转动杆转动贯穿安装管设置，所述转动杆位于安装管内的部分同轴固定连接有风叶，所述安装管连通有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管的出气端位于箱体的上端，所述第二连接管的出气端位于转动杆的正上方设置，实现了对T型板上硅片的清屑以及对转动杆和丝杆上的清屑，保证了丝杆与安装块连接的安全。

优选地，所述安装管靠近伺服电机的一侧设有进气孔。

优选地，所述冷却机构包括设于底板上端的滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块的上端与安装块的下端固定连接，所述滑块靠近伺服电机的一侧设有第一弹性气囊，所述第一弹性气囊连通有第一波纹管，所述第一波纹管的出气端位于伺服电机的正下方设置，所述滑槽远离伺服电机的一侧内设有组件除屑组件，实现了丝杆转动的同时对电机的同步降温。

优选地，所述除屑组件包括设于滑槽内的第二弹性气囊，所述第二弹性气囊连通有第二波纹管，所述第二波纹管的出气端位于丝杆的正上方设置，实现了对丝杆上附着的碎屑的进一步的清理。

优选地，所述第二波纹管的出气端内安装有过滤网。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过清屑机构、除屑组件、转动杆、安装管、第一连接管、第二连接管、第二弹性气囊、第二波纹管之间的配合实现了对硅片生产中产生的碎屑进行清理，保证硅片上无碎屑，为硅片的下一步生产提供保证，而且第二波纹管可对对附着于丝杆上碎屑的清理，保证了丝杆运行的安全。

2、本实用新型通过冷却机构、底板、滑块、第一弹性气囊、第一波纹管、伺服电机的配合，实现了驱动设备的冷却降温，通过丝杆的运动，带动滑块对第一弹性气囊的按压，从而实现同步的对驱动设备的降温，延长了驱动设备的使用寿命。