[实用新型]一种用于MPCVD的张紧装置

权利要求书

1.一种用于MPCVD的张紧装置，包括反应腔体(4)和波导腔体(1)，所述反应腔体(4)和波导腔体(1)被同一连杆(2)穿过，其特征在于：所述连杆(2)上还安装有位于波导腔体(1)下方的张紧装置(7)，所述张紧装置(7)包括安装在连杆(2)上的张紧组件，所述张紧组件内开有多个预紧室(731)，每个所述预紧室(731)内均安装有位于竖直方向上的弹性元件(77)，所述张紧组件的底面安装有托盘(72)，所述托盘(72)上安装有与弹性元件(77)一一对应的多个预紧件(71)，所述连杆(2)上还安装有位于托盘(72)底面的张紧件(78)，所述张紧组件的顶面安装有称重传感器(75)，所述称重传感器(75)与显示器电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述张紧组件包括张紧盘(73)和盖板(74)，所述盖板(74)安装在张紧盘(73)的顶面，所述张紧盘(73)安装在托盘(72)顶面，所述弹性元件(77)与盖板(74)的底面接触。

3.根据权利要求2所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述托盘(72)上开有与预紧室(731)一一对应的预紧孔(721)，所述预紧件(71)通过螺纹安装在预紧孔(721)内，所述预紧室(731)内还安装有调节块(79)，所述弹性元件(77)安装在调节块(79)上，所述预紧件(71)与调节块(79)接触。

4.根据权利要求3所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述预紧室(731)的数量为六个，六个所述预紧室(731)均匀的开在张紧盘(73)上。

5.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述连杆(2)上还安装有位于称重传感器(75)顶面的封闭盖(76)，所述封闭盖(76)延伸至反应腔体(4)内。

6.根据权利要求5所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述封闭盖(76)包括相互成型为一体的封闭盘(761)和封闭柱(762)，所述封闭盘(761)安装在波导腔体(1)底面，所述封闭柱(762)延伸至波导腔体(1)内。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述弹性元件(77)为弹簧，所述预紧件(71)为预紧螺栓，所述张紧件(78)为张紧螺母。

8.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述称重传感器(75)套设在连杆(2)上，且称重传感器(75)通过压差机构可测量波导腔体(1)内的压力。

9.根据权利要求8所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述压差机构包括安装在连杆(2)顶面且位于反应腔体(4)内的平面板(5)，所述平面板(5)的底面设有压差腔(61)，所述压差腔(61)和波导腔体(1)通过连接环(3)连通。

10.根据权利要求9所述的一种用于MPCVD的张紧装置，其特征在于：所述压差腔(61)的侧壁为安装在平面板(5)底面且可阻隔波导腔体(1)和反应腔体(4)气体流通的封闭环(6)。