[实用新型]一种用于MPCVD的张紧装置

说明书

本实用新型涉及MPCVD设备技术领域，具体是一种用于MPCVD的张紧装置，用于解决现有技术中不能及时的测量和调节MPCVD设备中连杆张紧力的问题。本实用新型包括反应腔体、波导腔体和连杆，所述连杆上还安装有位于波导腔体下方的张紧装置，所述张紧装置包括张紧组件、弹性元件、托盘、预紧件、张紧件和称重传感器，所述称重传感器与显示器电性连接。本实用新型中由于连杆的张紧力发生变化会导致弹性元件的预紧力发生变化，而通过张紧装置中的重力传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化，从而可以及时的测量出连杆张紧力的变化，进而可以及时的对连杆的张紧力进行调整。

技术领域

本实用新型涉及MPCVD设备技术领域，更具体的是涉及一种用于MPCVD的张紧装置。

背景技术

金刚石具有极高的硬度和导热率，优异的光学透过性能，高的禁带宽度和场发射特性等极其优异的性质，因此在光学、半导体、真空微电子学、平面显示、机械及航空、航天和国防等领域都有十分广泛的用途。在这些领域的应用，将会对国防、电子、光学和机械等领域的高科技发展带来巨大的经济放益和社会效益。天然的金刚石是比较少的，为了满足需求需要人造金刚石晶体，而制造金刚石晶体可以使用MPCVD设备。

如图1所示，现有技术中的MPCVD设备包括反应腔体、波导腔体等，反应腔体和波导腔体被同一连杆穿过，且在连杆的上端安装有平面板，在平面板的底面安装有密封环，密封环可以阻止反应腔体和波导腔体内的气体相互流通，为了使密封环可以更好的对反应腔体和波导腔体进行密封，使反应腔体和波导腔体的气压不相通，就需要给连杆一个向下的预紧力，因此在连杆上位于波导腔体的底面安装有张紧螺母，张紧螺母与连杆通过螺纹连接，从而给连杆一个向下的张紧力，使密封环能对反应腔体和波导腔体间起到更好的密封作用。

但是，现有技术中不能及时的测量出连杆的张紧力，时间久了连杆会发生蠕变，从而会使张紧力下降，当连杆向下的张紧力下降后，密封环就不能对反应腔体和波导腔体起到密封作用，从而会使反应腔体和波导腔体内的气压相通。因此，我们迫切的需要一种可以及时测量出连杆的张紧力并能及时的对连杆的张紧力进行调整的张紧装置。

实用新型内容

基于以上问题，本实用新型提供了一种用于MPCVD的张紧装置，用于解决现有技术中不能及时的测量和调节MPCVD设备中连杆张紧力的问题。本实用新型中由于连杆的张紧力发生变化会导致弹性元件的预紧力发生变化，而通过张紧装置中的重力传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化，从而可以及时的测量出连杆张紧力的变化，进而可以及时的对连杆的张紧力进行调整。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种用于MPCVD的张紧装置，包括反应腔体和波导腔体，所述反应腔体和波导腔体被同一连杆穿过，所述连杆上还安装有位于波导腔体下方的张紧装置，所述张紧装置包括安装在连杆上的张紧组件，所述张紧组件内开有多个预紧室，每个所述预紧室内均安装有位于竖直方向上的弹性元件，所述张紧组件的底面安装有托盘，所述托盘上安装有与弹性元件一一对应的多个预紧件，所述连杆上还安装有位于托盘底面的张紧件，所述张紧组件的顶面安装有称重传感器，所述称重传感器与显示器电性连接。

工作原理：通过预紧件调节弹性元件的预紧力，连杆的张紧力可以通过张紧件调节，由于张紧件安装在托盘的底面，所以张紧件对连杆的张紧力发生变化时，张紧件与托盘之间的预紧力会发生变化，由于预紧件安装在托盘上，预紧件与弹性元件对应并可对弹性元件的预紧力进行调节，所以当张紧件对连杆的张紧力发生变化时，弹性元件的预紧力也会给着发生变化，而称重传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，称重传感器和显示器不涉及改进，使用目前常规称重传感器和常规显示器即可，通过显示器内部对应的处理元件将预紧力信号转换显示出来，这里的显示器可以是电脑，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化。