[实用新型]一种抛光表面检测装置

权利要求书

1.一种抛光表面检测装置，包括机架、基座、转动轴、研磨垫、修整器、抛光头、轴杆，其特征在于：还包括喷淋杆，所述喷淋杆上通过喷淋转轴转动连接有喷淋头，所述喷淋杆与所述喷淋头内设有供研磨液流动的液体通道，所述液体通道连通有补液通道，所述补液通道连接有补液箱，所述补液通道上还设有控制补液通道开闭的转动杆，所述转动杆上开设有研磨液通过的通孔，所述转动杆还同轴连接有传动组，所述传动组的另一端与所述喷淋转轴同轴连接。

2.根据权利要求1所述的一种抛光表面检测装置，其特征在于，所述抛光头底面可拆卸连接有壳体，所述壳体内设有环形固定圈，所述环形固定圈沿圆周方向均匀设有若干滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块连接有夹持晶圆的夹持件；所述环形固定圈处于所述滑槽位置处均匀设有刻度线；所述夹持件上设有红外装置，所述红外装置包括红外线发射器以及红外线接收器，相应红外线发射器和红外线接收器相对设置。

3.根据权利要求1所述的一种抛光表面检测装置，其特征在于，所述传动组包括第一齿轮，所述第一齿轮与所述喷淋转轴同轴连接，所述第一齿轮同轴连接有第二齿轮，所述第二齿轮啮合有第三齿轮，所述第三齿轮与所述转动杆同轴连接。

4.根据权利要求3所述的一种抛光表面检测装置，其特征在于，所述喷淋杆处于第二齿轮位置一侧开设有用于放置第三齿轮的喷淋壳体，所述喷淋壳体固定连接在机架上。

5.根据权利要求3所述的一种抛光表面检测装置，其特征在于，所述第一齿轮与所述第二齿轮的传动比为1：2～4，所述第二齿轮与所述第三齿轮的传动比为1：1。

6.根据权利要求2所述的一种抛光表面检测装置，其特征在于，所述滑块处于所述滑槽底部时，所述滑块下表面所对应的水平线为0基准线。

7.根据权利要求2所述的一种抛光表面检测装置，其特征在于，所述滑槽的数量为4个，所述滑块的数量为4个。

8.根据权利要求2所述的一种抛光表面检测装置，其特征在于，所述红外线发射器的数量为2个，所述红外线接收器的数量为2个，所述红外装置安装在所述夹持件的底端；相对应的所述红外线发射器与所述红外线接收器采用直线对射设置。

9.根据权利要求2所述的一种抛光表面检测装置，其特征在于，当两个所述红外线接收器均接收到相对应所述红外线发射器的信号时，化学机械抛光过程结束。