[实用新型]一种单晶炉的抽真空系统

权利要求书

1.一种单晶炉的抽真空系统，其特征在于，其包括炉体(1)、一级泵(2)以及二级泵(3)，所述炉体(1)上设置有出气口(15)，所述的一级泵(2)的吸气端和所述出气口(15)之间连接有一级抽气通道，所述的一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管(4)、主阀(5)、一级支管(6)、预抽阀(7)以及汇流管(8)，所述的主阀(5)为三通阀，所述二级泵(3)的吸气端与主阀(5)的另一出气端接通，所述二级泵(3)的出气端通过二级支管(9)与所述的汇流管(8)接通，所述的二级支管(9)上设置有能够控制其通断的前置阀(16)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的抽真空系统，其特征在于，所述的一级泵(2)为一机械泵，所述的二级泵(3)为一扩散泵，所述的汇流管(8)和二级支管(9)上均有一段为波纹管。

3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉的抽真空系统，其特征在于，所述一级泵(2)的吸气端和汇流管(8)之间连接有压差阀(10)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的抽真空系统，其特征在于，所述的出气口(15)设置于所述炉体(1)外侧壁的上部，所述的炉体(1)通过法兰与所述主管(4)连接以使所述出气口(15)与主管(4)导通。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉的抽真空系统，其特征在于，所述炉体(1)包括炉底(11)、炉盖(12)以及位于炉底(11)和炉盖(12)之间的筒体(13)，所述的炉底(11)、炉盖(12)以及筒体(13)上分别设置相互独立的冷却水道。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉的抽真空系统，其特征在于，所述主管(4)上设置有气压表(14)。