[实用新型]一种单晶炉的抽真空系统

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉的抽真空系统，其包括炉体、一级泵以及二级泵，炉体上设置有出气口，一级泵的吸气端和出气口之间连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管，主阀为三通阀，二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通，二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通，二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。本实用新型能够对单晶炉进行两级抽真空，给单晶炉提供10^‑5Pa左右的高真空环境，避免单晶炉内结晶的过程中的晶体被氧化的现象发生。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉的抽真空技术领域，尤其涉及一种单晶炉的抽真空系统。

背景技术

单晶炉是一种用于冶炼、结晶蓝宝石、红宝石等贵重矿物的设备，其工作的时候需要对其内部进行抽真空。现有技术中，一般采用机械泵对单晶炉内部进行抽真空，普通的机械泵，能够将单晶炉内的气压抽到1Pa左右，真空度不够高，导致蓝宝石、红宝石等贵重矿物在结晶的过程中的会存在被氧化的现象。

本实用新型就是基于以上的不足做出的。

实用新型内容

鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种能够提供高真空度的单晶炉的抽真空系统。

本实用新型为解决其技术问题而采用的技术方案是：

一种单晶炉的抽真空系统，其包括炉体、一级泵以及二级泵，炉体上设置有出气口，一级泵的吸气端和出气口之间连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管，主阀为三通阀，二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通，二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通，二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。

作为优选地，一级泵为一机械泵，二级泵为一扩散泵，汇流管和二级支管上均有一段为波纹管。

作为优选地，一级泵的吸气端和汇流管之间连接有压差阀。

作为优选地，出气口设置于炉体外侧壁的上部，炉体通过法兰与主管连接以使出气口与主管导通。

作为优选地，炉体包括炉底、炉盖以及位于炉底和炉盖之间的筒体，炉底、炉盖以及筒体上分别设置相互独立的冷却水道。

作为优选地，主管上设置有气压表。

本实用新型的有益效果是：采用本实用新型能够对单晶炉进行两级抽真空，给单晶炉提供10^-5Pa左右的高真空环境，避免单晶炉内结晶的过程中的晶体被氧化的现象发生。

附图说明

图1是本实用新型的结构原理图。

具体实施方式

下面将结合附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

参照图1，本实用新型的实施例提出了一种单晶炉的抽真空系统，其包括炉体1、一级泵2以及二级泵3，炉体1上设置有出气口15，一级泵2的吸气端和出气口15之间连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管4、主阀5、一级支管6、预抽阀7以及汇流管8，主阀5为三通阀，二级泵3的吸气端与主阀5的另一出气端接通，二级泵3的出气端通过二级支管9与汇流管8接通，二级支管9上设置有能够控制其通断的前置阀16。

作为本实用新型的优选方案，一级泵2为一机械泵，优选RVP-12旋片式真空泵，该机械泵可提供1Pa左右的低真空环境；二级泵3为一扩散泵，优选型号为JK-220的扩散泵，该扩散泵可提供10^-5Pa左右的高真空环境。机械泵的用途之一是对炉体1进行一级抽真空，用途之二是给扩散泵提供一个低真空的工作环境，避免扩散泵中的高温油蒸汽被氧化。